[发明专利]垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 201980001906.6 | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN110603696A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 崔元珍;金东焕;金克 | 申请（专利权）人： | 雷伊株式会社 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/22 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 吕琳;宋东颖 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射层 氧化层 垂直腔面发射激光器 透光区域 激光腔 基板 上部电极 源层 相隔 包围 | ||
1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：
基板；
下部反射层，其布置于所述基板上；
激光腔，其布置于所述下部反射层上，并且包括有源层；
氧化层，其布置于所述激光腔上；
上部反射层，其布置于所述氧化层上；
多个第一孔，其形成于所述上部反射层和所述氧化层；以及
上部电极，其布置于所述多个第一孔的内部和所述上部反射层上，
所述氧化层包括相隔开布置的多个透光区域，
所述多个第一孔在平面上以包围所述透光区域的方式布置。
2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述上部电极包括多个第二孔，所述多个第二孔在垂直方向上与所述多个透光区域相重叠，
所述多个第一孔在平面上包围所述第二孔。
3.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述多个第二孔的面积大于所述透光区域的面积。
4.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述垂直腔面发射激光器包括布置于所述上部反射层和所述上部电极之间的绝缘层，
所述绝缘层布置于所述多个第二孔的内部。
5.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
在所述氧化层中，除了形成有所述第一孔的区域之外的剩余区域相连接，
在所述上部反射层中，除了形成有所述第一孔的区域之外的剩余区域相连接。
6.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述氧化层包括包围所述透光区域的多个氧化区域。
7.根据权利要求6所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述多个氧化区域具有与所述第一孔的形状相对应的形状。
8.根据权利要求6所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
各个所述透光区域由所述多个氧化区域包围。
9.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述上部电极的面积为所述激光腔的面积的65％至85％。
10.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述多个第一孔的面积为所述透光区域的面积的0.1％至50％。
11.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述第一孔具有十字形、多边形、圆形、放射形中的至少一个形状。
12.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述垂直腔面发射激光器包括布置于所述氧化层上的覆盖层，
所述覆盖层的铝组分低于所述氧化层的铝组分。
13.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：
基板；
下部反射层，其布置于所述基板上；
激光腔，其布置于所述下部反射层上，并且包括有源层；
氧化层，其布置于所述激光腔上，并且包括多个贯穿孔；
覆盖层，其布置于所述氧化层上；
上部反射层，其布置于所述覆盖层上；
多个第一孔，其形成于所述上部反射层和所述氧化层；以及
上部电极，其布置于所述多个第一孔的内部和所述上部反射层上，
所述多个第一孔在平面上以包围所述透射孔的方式布置。
14.根据权利要求13所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，
所述上部电极包括多个第二孔，所述多个第二孔在垂直方向上与所述多个贯穿孔相重叠，
所述多个第一孔在平面上包围所述第二孔。
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