[发明专利]键合的统一半导体芯片及其制造和操作方法在审

专利信息
申请号: 201980001586.4 申请日: 2019-07-24
公开(公告)号: CN110546762A 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 刘峻;程卫华 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L25/18 分类号: H01L25/18;H01L27/108;H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/1157;H01L27/11578;H01L21/60;G11C11/4063;G11C16/06
代理公司: 11376 北京永新同创知识产权代理有限公司 代理人: 赵磊;刘柳<国际申请>=PCT/CN20
地址: 430074 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 公开了键合的统一半导体芯片及其制造和操作方法的实施例。在示例中,统一半导体芯片包括第一半导体结构,其包括一个或多个处理器、嵌入式DRAM单元阵列以及包括多个第一键合触点的第一键合层。统一半导体芯片还包括第二半导体结构,该第二半导体结构包括NAND存储器单元阵列和第二键合层,该第二键合层包括多个第二键合触点。统一半导体芯片还包括第一键合层和第二键合层之间的键合界面。第一键合触点在键合界面处与第二键合触点接触。
搜索关键词: 键合层 键合 半导体芯片 半导体结构 触点 键合界面 统一 嵌入式DRAM单元 触点接触 单元阵列 处理器 制造
【主权项】:
1.一种统一半导体芯片,包括/n第一半导体结构,其包括一个或多个处理器、嵌入式动态随机存取存储器(DRAM)单元阵列和第一键合层,所述第一键合层包括多个第一键合触点;/n第二半导体结构,其包括NAND存储器单元阵列和第二键合层,所述第二键合层包括多个第二键合触点;以及/n所述第一键合层与所述第二键合层之间的键合界面,其中,所述第一键合触点在所述键合界面处与所述第二键合触点接触。/n
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