[实用新型]一种制备全沉积高性能碳化硅涂层的装置

摘要

本实用新型公开了一种制备全沉积高性能碳化硅涂层的装置，包括沉积箱，气体箱，所述沉积箱的水平方向内表壁固定安装有限位块，两个所述限位块的内部开设有通槽，两个所述通槽的内部分别设置有丝杆一和丝杆二。本实用新型中，通过丝杆一、丝杆二、限位块、丝块的设置，利用丝杆一的转动带动齿轮盘一转动，齿轮盘一的转动通过齿轮盘三带动齿轮盘二转动，齿轮盘二的转动带动丝杆二转动，丝杆一和丝杆二的转动带动丝块在通槽内部上下移动，丝块的上下移动带动环形托盘在沉积箱内部上下运动，从而使得产品在沉积箱内部动态沉积，提高了沉积效率，增加了沉积设备的产能。