[实用新型]光伏电池镀膜反应炉有效
申请号: | 201921867129.7 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN210974871U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/455;H01L31/18 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 戴玲 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种光伏电池镀膜反应炉,包括加热炉体,加热炉体的一端具有炉口,炉口处设有法兰组,法兰组内设有多个进气管道,进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管,分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内,且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布,分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔,多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后,造成加热炉体内沿轴向出现温差,影响加热炉体内温度的均匀性,导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。 | ||
搜索关键词: | 电池 镀膜 反应炉 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的