[实用新型]光伏电池镀膜反应炉

说明书

本实用新型公开了一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，加热炉体的一端具有炉口，炉口处设有法兰组，法兰组内设有多个进气管道，进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。

技术领域

本实用新型涉及光伏电池镀膜设备技术领域，尤其涉及一种光伏电池镀膜反应炉。

背景技术

现有应用在半导体等行业中，均需要卧式或立式的真空密封管式设备做工艺或实验，在工艺或者实验过程中，对于气体的进气位置以及抽气位置需要由设备的设计情况确定，进气和抽气位置若设计不当，在安装、调试、使用过程中会对于实验以及批量生产造成较严重的影响，如：气体不能及时抽出导致局部气体残留较多，薄膜生长不均匀，导致生产效率下降、影响生产效率、增加维护成本。

PECVD装置是太阳能电池片生产过程中用于镀反减膜的设备，减反膜能有效提高电池片的效率，因此控制好电池片膜厚的片间均匀性很重要，做工艺时，工艺气体一直是流动的，从石英管口进入，流入石英管发生化学反应，然后被真空泵抽走，由于气体进入石英管前温度比石英管内部温度低，所以工艺气体进入石英管后必然会影响石英管内的温度，导致整个温度场不均匀，(膜厚的均匀性主要由外部环境、工艺气体温度、炉体加热强度有关)。现有的技术是由炉口进气，一方面石英管前端温度比石英管内部温度低，导致膜厚不均匀，工作效率降低，另一方面石英管前段工艺气体流速相对较快，气体堆积程度相对较高，导致石英管前后工艺气体均匀性较差，从而影响成膜均匀性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生的光伏电池镀膜反应炉。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，所述加热炉体的一端具有炉口，所述炉口处设有法兰组，所述法兰组内设有多个进气管道，所述进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，所述分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，所述分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个所述分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。

作为上述技术方案的进一步改进：

多个所述分流孔均匀间隔分布。

所述法兰组包括依次叠合的支撑法兰、进气法兰和水冷法兰，所述支撑法兰靠近炉口设置，所述进气管道设于进气法兰内。

所述水冷法兰的一侧设有进水接头、另一侧设有出水接头。

所述水冷法兰的表面绕水冷法兰的中心轴一周设有用于安装密封圈的燕尾槽。

所述加热炉体内设有不锈钢桶，所述不锈钢桶的开口端从炉口伸出，所述法兰组设于不锈钢桶的开口端，所述分流气管设于不锈钢桶内。

所述不锈钢桶的底壁上设有固定件，所述分流气管远离进气管道的一端固定于固定件上。

所述不锈钢桶的底壁上开设有抽气口。

所述抽气口处设有真空管接头。

所述进气管道和分流气管均设为六根。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：