[实用新型]晶圆片缓存机

摘要

本实用新型涉及晶圆片缓存的技术领域，公开了晶圆片缓存机，包括将晶圆片从上游设备传输至下游设备的传送结构、沿横向往复移动的转移结构、沿纵向往复移动的卡匣以及沿纵向往复移动的定位结构；卡匣具有多个沿纵向依次分布的缓存腔，缓存腔具有连通外部的侧端开口。当进行缓存时，定位结构朝上移动限制晶圆片移动，传送结构停止晶圆片的传输，转移结构将晶圆片抬起到位，再沿横向移动，将晶圆片送入卡匣的缓存腔内，卡匣沿纵向移动，实现多个晶圆片缓存；实现上流设备和下流设备的生产节拍进行调整，以及对晶圆片的短暂放置，且有效避免下游设备异常，影响上游设备的产品输出，从而提高生产效率。