[实用新型]晶圆片缓存机

权利要求书

1.晶圆片缓存机，其特征在于，包括将晶圆片从上游设备传输至下游设备的传送结构、沿横向往复移动的转移结构、沿纵向往复移动的卡匣以及沿纵向往复移动的定位结构；所述卡匣具有多个沿纵向依次分布的缓存腔，所述缓存腔具有连通外部的侧端开口；进行缓存时，所述定位结构朝上移动限制晶圆片移动，所述转移结构沿横向移动将所述传送结构上的晶圆片转移至缓存腔。

2.如权利要求1所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述转移结构包括机械手、转移电机以及转移座，所述转移电机驱动所述转移座沿横向往复移动；所述机械手与所述转移座呈对接布置。

3.如权利要求2所述的晶圆片缓存机，其特征在于，沿横向方向，所述机械手呈长条状布置，且呈扁平状布置。

4.如权利要求2所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述转移座包括底座以及升降座，所述升降座设有升降电机，所述升降座的底部与所述底座呈固定布置，所述升降电机升降轴，所述升降轴朝上延伸轴所述升降座的顶部外且对接所述机械手。

5.如权利要求4所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述晶圆片缓存机包括机体，所述机体具有移动导轨，所述移动导轨沿横向延伸布置；所述底座活动对接所述移动导轨。

6.如权利要求1-5任意一项所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述定位结构包括定位柱以及定位气缸，所述定位气缸的底端呈固定布置，所述定位气缸的顶端与所述定位柱呈连接布置，所述定位气缸驱动所述定位柱沿纵向往复移动。

7.如权利要求6所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述定位结构包括停止位传感器，所述停止位传感器设置在所述定位柱上；当进行缓存时，所述定位气缸驱动所述定位柱朝上移动，带动所述停止位传感器移动至传送结构的上方，所述停止位传感器检测所述晶圆片，所述转移结构启动，将所述晶圆片转移至缓存腔。

8.如权利要求6所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述传送结构包括多个呈排列布置的传送轮，相邻所述传送轮具有传送间隙，所述定位柱朝上移动贯穿所述传送间隙，限制所述晶圆片移动。

9.如权利要求1-5任意一项所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述卡匣包括多个匣柱，所述匣柱呈纵向布置；所述匣柱具有多个卡槽，各个所述卡槽沿纵向呈间隔依次布置；各个所述匣柱的各个卡槽呈一一对应布置，形成所述缓存腔。

10.如权利要求1-5任意一项所述的晶圆片缓存机，其特征在于，所述卡匣包括至少一个对射传感器，所述对射传感器具有发射面，所述发射面朝向所述缓存腔布置。