[实用新型]一种化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备包括外层反应管、内层反应管以及气体供应系统，所述外层反应管嵌套在所述内层反应管外侧，二者分别单独密封，所述外层反应管与所述内层反应管之间或者二者内部至少一处设置有连通结构，所述气体供应系统的进气端和回气端分别与所述外层反应管、内层反应管中的至少一个相连通，所述外层反应管、内层反应管左右两端的进/出气口交替作为气体供应入口。本实用新型结构简单，气体路径可调，优化了CVD法制备纳米薄膜材料的工艺。