[实用新型]一种避免硅片制动摩擦的传输线

摘要

本实用新型公开了一种避免硅片制动摩擦的传输线，传输线上设置有阻挡片及对应阻挡片的硅片到达传感器，以及设置在传输线两侧的托举机构；传输线还设置有气浮平台，气浮平台设置在硅片到达传感器的前端并位于传输线上。该实用新型通过增加气浮平台，当硅片到达传感器感应到硅片但未接触阻挡片时，硅片到达传感器在一定时间后指定气浮平台的气浮阀通气以使硅片脱离传输带向上浮起，气浮硅片靠运动惯性继续前行直至接触到阻挡片后停止运动，同时托举机构上升将到达阻挡片位置的气浮硅片托举并将气浮阀关闭停止气浮，从而通过气浮避免了硅片与输送带产生摩擦，减少了硅片接触输送带产生的划痕及印记。