[实用新型]一种避免硅片制动摩擦的传输线有效

专利信息
申请号: 201921529306.0 申请日: 2019-09-12
公开(公告)号: CN211282623U 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 上官泉元;芦伟;张政 申请(专利权)人: 常州比太科技有限公司
主分类号: B65G37/00 分类号: B65G37/00;B65G54/00;B65G43/08;B65G47/22
代理公司: 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 代理人: 吴倩
地址: 213164 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 避免 硅片 制动 摩擦 传输线
【权利要求书】:

1.一种避免硅片制动摩擦的传输线,所述传输线上设置有阻挡片,所述阻挡片的前端设置有硅片到达传感器,以及对应所述传输线设置的托举机构;其特征在于,所述传输线还对应设置有用于向硅片吹气并使硅片浮起的气浮平台,所述气浮平台设置在所述硅片到达传感器的前端。

2.根据权利要求1所述的一种避免硅片制动摩擦的传输线,其特征在于,所述气浮平台对称设置在所述传输线的输送带两侧,所述气浮平台上设置的多个吹气孔对准硅片平衡吹气以避免硅片向一侧偏移并滑出所述传输线,使硅片沿所述传输线的输送带向上浮起并与输送带隔离。

3.根据权利要求2所述的一种避免硅片制动摩擦的传输线,其特征在于,所述托举机构对称设置在所述传输线的输送带两侧,以从硅片的两侧对称将硅片托举。

4.根据权利要求1所述的一种避免硅片制动摩擦的传输线,其特征在于,所述气浮平台设置在所述传输线的两条输送带之间,所述气浮平台上设置的多个吹气孔对准横跨两条输送带的硅片底部吹气,以使硅片沿所述传输线的输送带垂直向上浮起并与输送带隔离。

5.根据权利要求4所述的一种避免硅片制动摩擦的传输线,其特征在于,所述托举机构设置在所述传输线的两条输送带之间,以从硅片的底部垂直将硅片托举。

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