[实用新型]一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元有效
| 申请号： | 201921195514.1 | 申请日： | 2019-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN210973008U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 闫文军;张勇;杜良辉 | 申请（专利权）人： | 江苏壹度科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;G01B21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体晶盘片量测设备技术领域，具体为一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体，量测设备主体的内部设有与外界相连通的空腔，空腔的底壁上设有量测平台，量测平台上紧密焊接有弧形块，弧形块内设有与外界相连通的弧形槽；空腔内还设有轨道输送装置，轨道输送装置包括紧密焊接在空腔一侧腔壁上的滑轨，滑轨的一端部设有微型马达，微型马达的输出轴末端紧密焊接有丝杆，底板上设有液压缸。本实用新型省时省力，便于将半导体晶盘片输送至量测平台上，给使用者带来便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输送 轨道 半导体 盘片 单元 | ||
【主权项】：
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