[实用新型]一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元

权利要求书

1.一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体(1)，其特征在于：所述量测设备主体(1)的内部设有与外界相连通的空腔(10)，所述空腔(10)的底壁上设有量测平台(2)，所述量测平台(2)上紧密焊接有弧形块(20)，所述弧形块(20)内设有与外界相连通的弧形槽(21)；所述空腔(10)内还设有轨道输送装置(3)，所述轨道输送装置(3)包括紧密焊接在所述空腔(10)一侧腔壁上的滑轨(30)，所述滑轨(30)内设有沿着滑轨(30)长度方向设置且与外界相连通的滑槽(31)，所述滑槽(31)的截面呈T字形，所述滑轨(30)的一端部设有微型马达(32)，所述微型马达(32)的输出轴末端紧密焊接有丝杆(33)，所述丝杆(33)位于所述滑槽(31)内，所述滑槽(31)内设有滑块(34)，所述滑块(34)的尺寸与所述滑槽(31)的尺寸相适配，所述滑块(34)内设有与外界相连通的螺纹孔(341)，所述丝杆(33)穿过所述螺纹孔(341)并与所述螺纹孔(341)之间螺纹连接，所述滑块(34)上紧密焊接有呈水平状设置的底板(35)，所述底板(35)上设有液压缸(36)，所述液压缸(36)的伸缩轴末端紧密焊接有放置面板(37)，所述放置面板(37)与所述弧形槽(21)之间滑动连接。

2.根据权利要求1所述的带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述微型马达(32)上的固定底座通过若干个紧固螺栓固定安装在所述滑轨(30)上。

3.根据权利要求1所述的带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述弧形槽(21)的底壁所在平面与所述量测平台(2)的顶面所在平面位于同一平面上。

4.根据权利要求1所述的带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述放置面板(37)内设有若干个呈线性等间距排列且与外界相连通的凹槽(371)。

5.根据权利要求1所述的带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述滑轨(30)的另外一端部紧密焊接有固定板(38)，靠近丝杆(33)的所述固定板(38)的一侧面上紧密焊接有轴承(381)，所述丝杆(33)紧密焊接在所述轴承(381)的内圈上。

6.根据权利要求1所述的带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述量测平台(2)的表面设有防滑层(4)。