[实用新型]一种半导体制造用清洗机有效
| 申请号： | 201921166877.2 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN210052720U | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 杨仕品 | 申请（专利权）人： | 昆山市智程自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 32354 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体制造用清洗机，包括底座，所述底座的顶部通过螺栓连接有清洗箱和储液箱，且清洗箱的底部设有喇叭状结构的溢流罩，所述底座的顶部通过螺栓连接有输送泵，且输送泵的进口端通过法兰与储液箱连通，输送泵的出口通过法兰与溢流罩连通，所述清洗箱的内部设有支撑网板，且支撑网板的顶端通过搭扣锁连接有防护支架。本实用新型中，启动输送泵将储液罐内部的清洗液循环至清洗箱的内部，使得清洗液从溢流罩向上涌出，涌出的清洗液进入到清洗腔内部自下而上的对半导体片表面进行清洗，将污渍从溢流管排出，带有污渍的清洗液从溢流管排出至储液箱的内部过滤后进行循环，提高对清洗液的利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗箱 清洗液 输送泵 储液箱 溢流罩 底座 本实用新型 螺栓连接 支撑网板 污渍 溢流管 法兰 排出 连通 半导体制造 喇叭状结构 清洗液循环 半导体片 防护支架 储液罐 搭扣锁 进口端 清洗机 清洗腔 过滤 清洗 出口 | ||
【主权项】：
1.一种半导体制造用清洗机，包括底座(1)，所述底座(1)的顶部通过螺栓连接有清洗箱(6)和储液箱(10)，且清洗箱(6)的底部设有喇叭状结构的溢流罩(2)，所述底座(1)的顶部通过螺栓连接有输送泵(11)，且输送泵(11)的进口端通过法兰与储液箱(10)连通，输送泵(11)的出口通过法兰与溢流罩(2)连通，其特征在于，所述清洗箱(6)的内部设有支撑网板(4)，且支撑网板(4)的顶端通过搭扣锁连接有防护支架(5)，防护支架(5)的内部设有多个清洗腔，所述清洗箱(6)的侧面顶端通过螺栓连接有矩形管状结构的溢流管(7)，且溢流管(7)的另一端通过螺栓与储液箱(10)的顶端连通，所述清洗箱(6)的底部内壁通过螺栓连接有四个弹簧(3)，且支撑网板(4)的底部四角通过螺栓连接有插接于弹簧(3)内部的限位杆。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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