[实用新型]一种半导体芯片切割研磨一体化生产设备有效
申请号: | 201921134616.2 | 申请日: | 2019-07-18 |
公开(公告)号: | CN210435856U | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 殷泽安;殷志鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州译品芯半导体有限公司 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B41/06;B28D5/02;B28D7/04 |
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地址: | 215143 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体芯片切割研磨一体化生产设备,包括安装台,所述安装台上固定安装有安装座,所述安装座上通过转轴转动安装有装夹座,所述装夹座由第一驱动机构驱动转动,安装台上还设置安装有底座,所述底座由第三驱动机构驱动移动,底座上通过转轴转动安装有转动座,所述转动座由第二驱动机构驱动转动,转动座上固定连接有连接臂,所述连接臂远离转动座的一端设置安装有切割片,所述切割片的前端面上可拆卸安装有打磨片。本实用新型是一种结构紧凑,使用方便,稳定性高的半导体芯片切割研磨一体化生产设备。 | ||
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【主权项】:
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