[实用新型]用于测量三维形貌的测量装置

摘要

本实用新型提供一种用于测量三维形貌的测量装置，其包括：样品载台，用于承载样品，所述样品载台能够旋转及移动；第一测量组件，用于实现第一测量方法；第二测量组件，用于实现第二测量方法；处理器，用于存储理论光谱数据库、根据所述第一测量组件的测量结果获得所述样品的测量区域的第一类型参数、根据所述第二测量组件的测量结果获得所述样品的测量区域的测量光谱、及将所述测量光谱与所述第一类型参数对应的理论光谱进行匹配，获得所述样品的测量区域的轮廓参数，进而得到所述样品的测量区域的三维形貌。其优点在于，实现对样品的三维形貌的精确快速的测量。