[实用新型]单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉有效
| 申请号： | 201920935816.1 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210151240U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 吴学军 | 申请（专利权）人： | 宁夏旭樱新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管，所述内筒同心套装在外筒内，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有冷却液入口和冷却液出口，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，然后流入第一隔板、第二隔板之间的空腔的底部，再从冷却液出口流出，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，本实用新型还提供了一种单晶硅制备用单晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 制备 水冷 单晶炉 | ||
【主权项】：
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