[实用新型]单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉

说明书

一种单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管，所述内筒同心套装在外筒内，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有冷却液入口和冷却液出口，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，然后流入第一隔板、第二隔板之间的空腔的底部，再从冷却液出口流出，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，本实用新型还提供了一种单晶硅制备用单晶炉。

技术领域

本实用新型涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域，特别涉及一种单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中，通过水冷热屏有效的提高了晶棒的冷却速度，从而提高了拉制效率，目前一些单晶炉加装了水冷热屏，由于冷却效率不高，造成晶棒拉制速度低。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种冷却效率高的单晶硅制备用水冷热屏。

还有必要提出一种冷却效率高的单晶硅制备用单晶炉。

一种单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管，所述内筒、外筒均为上大下小的锥形筒，所述内筒同心套装在外筒内，所述环形底设于内筒、外筒的下端部，所述环形底的内环壁与内筒的外环壁密封连接，所述环形底的外环壁与外筒的内环壁密封连接，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述内缘的端面与内筒的上端部外环壁密封连接，所述内筒、外筒和环形底形成环形内腔，所述第一隔板、第二隔板的形状与环形内腔的纵截面形状向匹配，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述第一隔板、第二隔板相互平行，所述第一隔板的上端与内缘接触，所述第一隔板的下端与环形底不接触，所述第二隔板的上端与内缘接触，所述第二隔板的下端与环形底接触，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，相邻两个隔板组相互平行设置，每一个隔板组包括上隔板、下隔板，所述上隔板、下隔板均为与内筒的外环壁形状相匹配的弧形，所述上隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述上隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述下隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述下隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述上隔板、下隔板相对平行设置，上隔板的一端与第二隔板接触，上隔板的另一端与第二隔板不接触，下隔板的一端与第一隔板接触，下隔板的另一端与第二隔板不接触，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有冷却液出口，所述冷却液出口所在第一隔板、第二隔板之间不设置隔板组，所述冷却液出口靠近外筒体内缘设置，所述出水管的一端为自由端，所述出水管的另一端与冷却液出口连接，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有冷却液入口，冷却液入口所在第一隔板、第二隔板之间设置隔板组，所述冷却液入口位于外筒体内缘和靠近外筒体内缘的上隔板之间，所述冷却液入口还靠近第二隔板设置，所述进水管的一端为自由端，所述进水管的另一端与冷却液入口连接。

优选的，所述单晶硅制备用水冷热屏还包括进水接头、出水接头、蓄水池、传感器，所述进水接头一端与进水管的自由端连接，所述进水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，所述出水接头一端与出水管的自由端连接，所述出水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，在出水接头与蓄水池之间的管线上安装有传感器。

优选的，所述传感器为涡街流量传感器。

优选的，所述单晶硅制备用水冷热屏包括第一控制部件，所述第一控制部件包括第一微处理器、第一报警灯，所述传感器与第一微处理器连接，所述第一微处理器与第一报警灯连接。