[实用新型]可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉有效
| 申请号： | 201920935815.7 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210151239U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 吴学军 | 申请（专利权）人： | 宁夏旭樱新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，进水管和出水管中的冷却液均通过固定环体与外界实现交换，而固定环体只需要卡装在单晶炉炉体和炉盖之间，水冷热屏的安装以及进水管、出水管的安装均不需要破坏炉体结构，尤其适用于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度小，改造成本低，本实用新型还提供了一种可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 拆装 单晶硅 制备 水冷 单晶炉 | ||
【主权项】：
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