[实用新型]可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉

说明书

一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，进水管和出水管中的冷却液均通过固定环体与外界实现交换，而固定环体只需要卡装在单晶炉炉体和炉盖之间，水冷热屏的安装以及进水管、出水管的安装均不需要破坏炉体结构，尤其适用于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度小，改造成本低，本实用新型还提供了一种可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉。

技术领域

本实用新型涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域，特别涉及一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中，通过水冷热屏有效的提高了晶棒的冷却速度，从而提高了拉制效率，目前一些单晶炉加装了水冷热屏，由于冷却效率不高，造成晶棒拉制速度低，且现有的水冷热屏的安装以及进水管、出水管的安装均需要破坏炉体或炉盖结构，特别对于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度大，改造成本高。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种冷却效率高的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏。

还有必要提出一种冷却效率高的可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉。

一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，所述内筒、外筒均为上大下小的锥形筒，所述内筒同心套装在外筒内，所述环形底设于内筒、外筒的下端部，所述环形底的内环壁与内筒的外环壁密封连接，所述环形底的外环壁与外筒的内环壁密封连接，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述内缘的端面与内筒的上端部外环壁密封连接，所述内筒、外筒和环形底形成环形内腔，所述第一隔板、第二隔板的形状与环形内腔的纵截面形状向匹配，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述第一隔板、第二隔板相互平行，所述第一隔板的上端与内缘接触，所述第一隔板的下端与环形底不接触，所述第二隔板的上端与内缘接触，所述第二隔板的下端与环形底接触，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，相邻两个隔板组相互平行设置，每一个隔板组包括上隔板、下隔板，所述上隔板、下隔板均为与内筒的外环壁形状相匹配的弧形，所述上隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述上隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述下隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述下隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述上隔板、下隔板相对平行设置，上隔板的一端与第二隔板接触，上隔板的另一端与第二隔板不接触，下隔板的一端与第一隔板接触，下隔板的另一端与第二隔板不接触，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液出口，所述第一冷却液出口所在第一隔板、第二隔板之间不设置隔板组，所述第一冷却液出口靠近外筒体内缘设置，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液入口，第一冷却液入口所在第一隔板、第二隔板之间设置隔板组，所述第一冷却液入口位于外筒体内缘和靠近外筒体内缘的上隔板之间，所述第一冷却液入口还靠近第二隔板设置，所述连接杆为多个，多个连接杆沿内筒周向布置，所述连接杆的一端与内筒内环壁的上部固定连接，所述连接杆的另一端与固定环体的内环壁固定连接，所述固定环体具有环形空腔，在环形空腔内设有第三隔板、第四隔板，以将环形空腔分为第一流道、第二流道，在固定环体的外环壁设有第三冷却液入口、第三冷却液出口，所述第三冷却液出口与第一流道连通，所述第三冷却液入口与第二流道连通，所述第三冷却液入口靠近第四隔板设置，在固定环体的内环壁设有第二冷却液出口、第二冷却液入口，所述第二冷却液出口与第一流道连通，所述第二冷却液入口与第二流道连通，所述第二冷却液入口靠近第三隔板设置，所述出水管的一端与第一冷却液出口连接，所述出水管的另一端与第二冷却液出口连接，所述进水管的一端与第一冷却液入口连接，所述进水管的另一端与第二冷却液入口连接。