[实用新型]一种带吹屑装置的捡晶机

摘要

本实用新型公开了芯片封装制造领域内的一种带吹屑装置的捡晶机，包括晶圆载台，晶圆载台上放置有若干个晶粒，所述晶圆载台上方对应设置有连接在机械手端部的移动支架，移动支架的横截面为U形，顶板上沿移动支架的长度方向依次排列开设有若干通孔一，竖直板上沿移动支架的长度方向依次排列开设有若干通孔二，移动支架的端部设有固定吸嘴的定位机构，吸嘴轴线竖直设置，吸嘴的上端开口连接有软管，软管水平段支撑在移动支架顶板上，移动支架上间隔设置有若干固定绑带，所述吸嘴的下端开口正对晶粒设置；与所述吸嘴相对应地设有吹气管，吹气管经管路与气源相连。本实用新型能够快速吸取IC晶粒，确保IC表面洁净，避免吸嘴粘上异物。

主权项

1.一种带吹屑装置的捡晶机，包括晶圆载台，晶圆载台上放置有若干个晶粒，其特征在于，所述晶圆载台上方对应设置有连接在机械手端部的移动支架，移动支架的横截面为U形，移动支架包括水平顶板，顶板的左右两侧均一体设置有竖直板，两竖直板互相平行设置，顶板上沿移动支架的长度方向依次排列开设有若干通孔一，竖直板上沿移动支架的长度方向依次排列开设有若干通孔二，各通孔一和各通孔二一一对应设置，所述移动支架的端部设有固定吸嘴的定位机构，吸嘴轴线竖直设置，吸嘴的上端开口连接有与负压发生装置相连的软管，软管包括弯曲段和水平段，软管水平段支撑在移动支架顶板上，移动支架上间隔设置有若干固定软管水平段的固定绑带， 所述吸嘴的下端开口正对晶粒设置；与所述吸嘴相对应地设有吹气管，吹气管经管路与气源相连。/n