[实用新型]一种干法刻蚀设备及其顶盖有效
| 申请号： | 201920859931.5 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN210015835U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 薛荣华;阚保国;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种干法刻蚀设备及其顶盖，所述顶盖具有腔室，所述顶盖包括下顶盖和上顶盖，所述上顶盖盖合在所述下顶盖上，所述上顶盖远离所述下顶盖的一侧具有一把手，所述把手固定在所述上顶盖上。本实用新型的顶盖在保养时仅需要通过抓取把手将上顶盖移开即可，无需将整个顶盖一起移开，减轻了维修时需要移开的重量，便于操作，方便了维修人员的日常维护工作，预防了事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 顶盖 上顶盖 下顶盖 移开 本实用新型 把手 干法刻蚀设备 抓取 日常维护 维修 盖合 腔室 保养 预防 | ||
【主权项】：
1.一种干法刻蚀设备的顶盖，所述顶盖具有腔室，其特征在于，所述顶盖包括下顶盖和上顶盖，所述上顶盖配合设置在所述下顶盖上，所述上顶盖远离所述下顶盖的一侧具有一把手，所述把手固定在所述上顶盖上。/n
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