[实用新型]扩散炉送料机构有效

申请号：	201920779654.7	申请日：	2019-05-24
公开（公告）号：	CN209691729U	公开（公告）日：	2019-11-26
发明（设计）人：	贾峻峰;郭锐;周晰	申请（专利权）人：	常州银河世纪微电子股份有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/677;C30B31/00
代理公司：	32225 常州市科谊专利代理事务所	代理人：	言倩玉<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址：	213022 江***	国省代码：	江苏;32
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：	本实用新型公开了一种扩散炉送料机构，包括水平滑轨组件、推拉舟组件以及，隔热挡板。水平滑轨组件包括水平轨道，以及在水平轨道上近扩散炉的炉口处设有的行程开关；推拉舟组件包括适于与水平轨道滑动相接的推拉舟，以及与推拉舟固连的用于支承晶体的且适于部分地伸入至扩散炉内的水平悬臂；在推拉舟上设有适于触发行程开关的触发件；隔热挡板位于行程开关的上方且一端与水平轨道铰接；隔热挡板适于在水平悬臂与行程开关之间形成隔挡。本实用新型的扩散炉送料机构通过设计的隔热挡板可有效避免行程开关因为高温晶体而受损，从而延长行程开关的使用寿命。
搜索关键词：	行程开关推拉舟隔热挡板水平轨道扩散炉水平滑轨组件本实用新型水平悬臂送料机构触发行程开关高温晶体滑动相接使用寿命组件包括触发件晶体的炉口处隔挡固连铰接伸入支承受损
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【主权项】：

1.一种扩散炉送料机构，其特征在于，包括：/n水平滑轨组件，水平滑轨组件包括水平轨道，以及在所述水平轨道上近扩散炉的炉口处设有的行程开关；/n推拉舟组件，所述推拉舟组件包括适于与所述水平轨道滑动相接的推拉舟，以及与所述推拉舟固连的用于支承晶体的且适于部分地伸入至扩散炉内的水平悬臂；在所述推拉舟上设有适于触发所述行程开关的触发件；/n隔热挡板，所述隔热挡板位于所述行程开关的上方且一端与所述水平轨道铰接；所述隔热挡板适于在所述水平悬臂与行程开关之间形成隔挡。/n

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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