[实用新型]扩散系统中的双杆式推拉装置无效
| 申请号： | 200320101703.0 | 申请日： | 2003-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN2661711Y | 公开（公告）日： | 2004-12-08 |
| 发明（设计）人： | 王茂林;赵学文 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扩散系统中的双杆式推拉装置，其结构由双杆式舟、分立夹持装置、位置调节机构、推拉机构与炉门装置组成；双杆式舟为梯型，为两只固定臂中间连有横管结构；这种结构承载硅片稳固、强度较高。分立夹持装置由两组固定夹块、两组活动夹块及其联接螺钉组成；固定夹块与活动夹块分别夹住双杆式舟的两只固定臂，这种结构由于加工精度及误差对夹持的影响很小，不会造成双杆舟的损坏。分立夹持装置固定于位置调节机构上随推拉机构一同移动。实现了自动化，可见本实用新型操作简单、使用可靠、不损坏产品，同时又不会对设备(这里指舟)造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 系统 中的 双杆式 推拉 装置 | ||
【主权项】：
1、一种扩散系统中的双杆式推拉装置，其特征在于由双杆式舟(1)、分立夹持装置、与推拉机构组成；双杆式舟(1)为梯型，为两只固定臂(2)中间连有横管(3)；所述的分立夹持装置由两组固定夹块(4)与两组活动夹块(5)组成；固定夹块(4)与活动夹块(5)分别夹住双杆式舟(1)的两只固定臂(2)，分立夹持装置随推拉机构一同移动。
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- 本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门，包括石英炉门本体，该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连，且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘，所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘，该石英挡盘的直径与炉管的直径相等，并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内，因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触，大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置，这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应，延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度，因此也就延长了炉门的使用寿命。本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。
- 一种扩散炉腔体-201420797971.9
- 向益双;包文訚;刘林华 - 无锡德鑫太阳能电力有限公司
- 2014-12-17 - 2015-05-20 - C30B31/00
- 本实用新型公开了一种扩散炉腔体，包括腔本体、设于所述腔本体内的若干层炉体，设于所述炉体下方的保温层、设于所述保温层下方的碳化硅防护板、设于所述碳化硅防护板下方的网带以及设于所述网带下方的加热板，本实用新型的设计与现有设计比较，具有的优点是：通过设计碳化硅防护板代替现有技术中的二氧化硅防护板，碳化硅防护板不与聚磷酸等反应，可长期使用，从而可以长期解决保温材料因被腐蚀形成杂物掉落问题，从而减少杂物污染电池片，减少电池片外观产生不良，保证电池片电性能的高效、稳定；可以减少设备停机及维护时间。
- 一种卧式扩散炉的自动送料装置-201410637488.9
- 郝晓明;桂晓波;肖东辉 - 北京七星华创电子股份有限公司
- 2014-11-06 - 2015-02-04 - C30B31/00
- 本发明公开了一种卧式扩散炉的自动送料装置，通过升降机构操控悬臂下降，可在推拉舟将悬臂及其装载的晶舟水平送入扩散炉的炉管后，将晶舟卸于炉管内的支撑平台上，使悬臂可退出炉管，只留晶舟单独接受扩散工艺，从而提高了扩散工艺质量和生产效率，并可节约使用维护成本。
- 一种可提高扩散性能的涂源扩散方法-201210437482.8
- 凌俊;严婷婷;艾凡凡;陈如龙;杨健 - 无锡尚德太阳能电力有限公司
- 2012-11-02 - 2014-05-21 - C30B31/00
- 本发明提供一种可提高扩散性能的涂源扩散方法。现有技术通过碱腐溶液所形成的金字塔绒面或通过酸腐溶液所形成的虫孔状绒面的颗粒大小不均匀且有些颗粒过大，从而使得磷源在硅片表面因自然风干或加热而凝聚，进而导致扩散不均匀或PN结不完整。本发明可提高扩散性能的涂源扩散方法首先提供完成通过酸腐或碱腐制绒且完成清洗的硅片，接着在所述硅片表面形成亲水性的柱锥状绒面，所述柱锥状绒面的粒径范围为50～300nm，接着在所述硅片表面涂覆扩散源，最后对所述硅片进行热处理形成PN结。本发明可有效改善磷源涂敷在硅片上后收缩凝聚的问题，从而有效提高了扩散的均匀性，且避免PN结未能完整覆盖整个硅片。
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