[实用新型]反应容器组件及氮化镓晶体生产系统有效
| 申请号： | 201920774994.0 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN210048880U | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;高明哲;林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B7/10 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 201613 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种反应容器组件及氮化镓晶体生产系统。该反应容器组件用于生长氮化镓晶体，反应容器组件包括反应容器、外部密封容器和输送管道，反应容器设置于外部密封容器的内部，外部密封容器和反应容器之间填充用于传递压力的介质，使外部密封容器内的压强与反应容器内的压强的差值小于反应容器内的压强与标准大气压的差值，输送管道的一端用于连接至氨供应源，另一端贯穿外部密封容器而与反应容器可拆卸地连接，使得氨供应源中的氨能够被输送至反应容器的内部。本实用新型的反应容器组件能够避免搬运反应容器，进而简化氮化镓晶体的生产操作，且能降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 外部密封 压强 氮化镓晶体 本实用新型 输送管道 供应源 标准大气压 生产操作 生产系统 组件包括 地连接 可拆卸 填充 搬运 传递 生长 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种反应容器组件，其用于生长氮化镓晶体，其特征在于，所述反应容器组件包括反应容器(1)、外部密封容器(2)和输送管道(3)，/n所述反应容器(1)设置于所述外部密封容器(2)的内部，/n所述外部密封容器(2)和所述反应容器(1)之间填充用于传递压力的介质，使所述外部密封容器(2)内的压强与所述反应容器(1)内的压强的差值小于所述反应容器(1)内的压强与标准大气压的差值，/n所述输送管道(3)的一端用于连接至氨供应源，另一端贯穿所述外部密封容器(2)而与所述反应容器(1)可拆卸地连接，使得所述氨供应源中的氨能够被输送至所述反应容器(1)的内部。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海玺唐半导体科技有限公司，未经上海玺唐半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920774994.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
