[实用新型]反应容器组件及氮化镓晶体生产系统

说明书

本实用新型涉及一种反应容器组件及氮化镓晶体生产系统。该反应容器组件用于生长氮化镓晶体，反应容器组件包括反应容器、外部密封容器和输送管道，反应容器设置于外部密封容器的内部，外部密封容器和反应容器之间填充用于传递压力的介质，使外部密封容器内的压强与反应容器内的压强的差值小于反应容器内的压强与标准大气压的差值，输送管道的一端用于连接至氨供应源，另一端贯穿外部密封容器而与反应容器可拆卸地连接，使得氨供应源中的氨能够被输送至反应容器的内部。本实用新型的反应容器组件能够避免搬运反应容器，进而简化氮化镓晶体的生产操作，且能降低成本。

技术领域

本实用新型涉及氮化镓晶体生产技术领域，尤其涉及一种反应容器组件及氮化镓晶体生产系统。

背景技术

氮化镓作为第三代半导体材料的代表，具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、电子饱和漂移速度高、介电常数小等独特的性能，使其在光电子器件、电力电子、射频微波器件、激光器和探测器等方面具有广阔的市场前景。

氮化镓单晶的生长方法有氢化物气相外延法、高压氮气融溶法、氨热法、Na助熔剂法等，其中氨热法应用较为广泛。

在使用氨热法生产氮化镓单晶时，有时候需要将反应容器放入密封容器中将反应容器与外部隔离。目前，通常是先向反应容器中加入籽晶、多晶培养料、矿化剂等原料以及液氨后，将反应容器密封，再把反应容器搬运放入密封容器中。由于反应容器通常非常笨重，移动搬运反应容器比较困难，这给氮化镓晶体的生产工作带来极大的不便。

实用新型内容

基于现有技术中的上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种能够简化氮化镓晶体的生产操作的反应容器组件及具有该反应容器组件的氮化镓晶体生产系统。

为此，本实用新型提供如下技术方案。

本实用新型提供了一种反应容器组件，其用于生长氮化镓晶体，所述反应容器组件包括反应容器、外部密封容器和输送管道，

所述反应容器设置于所述外部密封容器的内部，

所述外部密封容器和所述反应容器之间填充用于传递压力的介质，使所述外部密封容器内的压强与所述反应容器内的压强的差值小于所述反应容器内的压强与标准大气压的差值，

所述输送管道的一端用于连接至氨供应源，另一端贯穿所述外部密封容器而与所述反应容器可拆卸地连接，使得所述氨供应源中的氨能够被输送至所述反应容器的内部。

在至少一个实施方式中，所述输送管道的所述另一端设置有外螺纹，所述反应容器的开口端设置有内螺纹，所述输送管道与所述反应容器通过螺纹连接。

在至少一个实施方式中，所述输送管道与所述反应容器通过抱箍连接。

在至少一个实施方式中，所述输送管道与所述反应容器通过法兰连接。

在至少一个实施方式中，所述输送管道与所述反应容器之间设置有密封垫片。

在至少一个实施方式中，所述输送管道的内径与所述反应容器的开口端的内径相等。

在至少一个实施方式中，所述外部密封容器内的压强大于所述反应容器内的压强。

在至少一个实施方式中，所述反应容器有多个，所述输送管道与多个所述反应容器分别连接。

在至少一个实施方式中，所述介质为氮气或氩气。

本实用新型还提供了一种氮化镓晶体生产系统，所述氮化镓晶体生产系统包括上述任一实施方式所述的反应容器组件。

通过采用上述的技术方案，本实用新型提供了一种反应容器组件，通过将反应容器预先设置于外部密封容器中，设置输送管道直接向反应容器中输送氨，能够避免搬运反应容器，进而简化氮化镓晶体的生产操作。