[实用新型]反应容器组件及氮化镓晶体生产系统有效
| 申请号： | 201920774994.0 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN210048880U | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;高明哲;林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B7/10 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 201613 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外部密封 压强 氮化镓晶体 本实用新型 输送管道 供应源 标准大气压 生产操作 生产系统 组件包括 地连接 可拆卸 填充 搬运 传递 生长 贯穿 | ||
1.一种反应容器组件，其用于生长氮化镓晶体，其特征在于，所述反应容器组件包括反应容器(1)、外部密封容器(2)和输送管道(3)，
所述反应容器(1)设置于所述外部密封容器(2)的内部，
所述外部密封容器(2)和所述反应容器(1)之间填充用于传递压力的介质，使所述外部密封容器(2)内的压强与所述反应容器(1)内的压强的差值小于所述反应容器(1)内的压强与标准大气压的差值，
所述输送管道(3)的一端用于连接至氨供应源，另一端贯穿所述外部密封容器(2)而与所述反应容器(1)可拆卸地连接，使得所述氨供应源中的氨能够被输送至所述反应容器(1)的内部。
2.根据权利要求1所述的反应容器组件，其特征在于，所述输送管道(3)的所述另一端设置有外螺纹(31)，所述反应容器(1)的开口端设置有内螺纹(11)，所述输送管道(3)与所述反应容器(1)通过螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的反应容器组件，其特征在于，所述输送管道(3)与所述反应容器(1)通过抱箍(5)连接。
4.根据权利要求1所述的反应容器组件，其特征在于，所述输送管道(3)与所述反应容器(1)通过法兰连接。
5.根据权利要求3或4所述的反应容器组件，其特征在于，所述输送管道(3)与所述反应容器(1)之间设置有密封垫片。
6.根据权利要求3或4所述的反应容器组件，其特征在于，所述输送管道(3)的内径与所述反应容器(1)的开口端的内径相等。
7.根据权利要求1所述的反应容器组件，其特征在于，所述外部密封容器(2)内的压强大于所述反应容器(1)内的压强。
8.根据权利要求1所述的反应容器组件，其特征在于，所述反应容器(1)有多个，所述输送管道(3)与多个所述反应容器(1)分别连接。
9.根据权利要求1所述的反应容器组件，其特征在于，所述介质为氮气或氩气。
10.一种氮化镓晶体生产系统，所述氮化镓晶体生产系统包括权利要求1至9中任一项所述的反应容器组件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海玺唐半导体科技有限公司，未经上海玺唐半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920774994.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
