[实用新型]一种半导体设备蚀刻装置直插式组件周转治具

摘要

一种半导体设备蚀刻装置直插式组件周转治具，属于蚀刻装置周转治具领域。包括挡板、底板、支撑板、可视孔、排出管和集液槽；所述底板上焊接多个挡板，相邻两个挡板的边缘焊接固定，底板与多个挡板构成箱体，挡板上设置有可视孔，底板下部设有与箱体连通的排出管；箱体内顶部设有支撑板，支撑板上设有多个漏孔，支撑板下方为集液槽，集液槽底部有溢流孔。本实用新型的有益效果是降低了直插式组件运输过程中的损坏风险，排除了人工搬运的滑落风险，同时对流出的酸碱成分进行收集，避免腐蚀情况的发生。

主权项

1.一种半导体设备蚀刻装置直插式组件周转治具，其特征在于，包括挡板(1)、底板(2)、支撑板(3)、可视孔(4)、排出管(5)和集液槽(6)；所述底板(2)上焊接多个挡板(1)，相邻两个挡板(1)的边缘焊接固定，底板(2)与多个挡板(1)构成箱体，挡板(1)上设置有可视孔(4)，底板(2)下部设有与箱体连通的排出管(5)；箱体内顶部设有支撑板(3)，支撑板(3)上设有多个漏孔，支撑板(3)下方为集液槽(6)，集液槽(6)底部有溢流孔。