[实用新型]一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构有效
| 申请号： | 201920462324.5 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN209779043U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 周元辉;刘春艳;张明福;胡春霞;刘洪亮;刘洪涛;范子龙;高雅蕾;姜树炎 | 申请（专利权）人： | 苏州优晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 11768 北京兴智翔达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋常雪 |
| 地址： | 215613 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，包括防护侧板，所述防护侧板的底端外表面靠近四角位置均固定安装有支撑滑道，四个所述支撑滑道之间通过螺栓固定安装有安装板，且信息反馈处理箱的底端外表面固定安装有两个信息反馈处理箱。本实用新型所述的一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，对水路系统进行合理的安装与摆放，使得水路系统整体的结构更加紧密，能够更加充分的利用空间，从而减少设备的空间，在防护侧板的底端安装四个支撑滑道，将引导柱安装在碳化硅电阻法设备的一侧，使得水路系统能够与碳化硅电阻法设备相对滑动，方便将水路系统从碳化硅电阻法设备的一侧拉出，当修理时，同时手动将水路系统向外拉，便可以对水路系统进行更换与修理。 | ||
| 搜索关键词： | 水路系统 碳化硅电阻 防护侧板 支撑滑道 底端 本实用新型 系统结构 信息反馈 处理箱 电阻法 设备水 碳化硅 修理 减少设备 螺栓固定 四角位置 相对滑动 安装板 引导柱 拉出 外拉 摆放 | ||
【主权项】：
1.一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，包括防护侧板（1），所述防护侧板（1）的底端外表面靠近四角位置均固定安装有支撑滑道（2），四个所述支撑滑道（2）之间通过螺栓固定安装有安装板（3），且安装板（3）的底端外表面固定安装有两个信息反馈处理箱（4），所述安装板（3）的底端外表面靠近信息反馈处理箱（4）的位置固定安装有进出总管（5），其特征在于：四个所述支撑滑道（2）的外表面均通过滑轨活动安装有引导柱（8），且引导柱（8）与支撑滑道（2）之间设有多个滚轮。/n
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