[实用新型]一种半导体晶圆检测的多功能设备箱

摘要

本实用新型提供一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，包括箱体，散热孔，指示灯，放置机构，观察窗，送料机构，万向轮和急停开关，本实用新型的放置机构，送料机构和指示灯的设置，松开翼形螺栓，将笔记本等外接设备放置在支撑板，移动调节板使其抵触外接设备，紧固翼形螺栓，使放置机构适用于不同宽度的外接设备，将键盘等放置在托盘上，便于操作人员进行外接设备的操作，提高用户的舒适度，将半导体晶圆放置在放置板上，箱体内的机械手通过送料口将半导体晶圆搬运到箱体内进行检测作业，保证检测装置平稳高效运行，指示灯通过导线与检测机构相连，指示灯的不同颜色对应检测机构的不同工作状态，便于操作人员及时了解检测装置的工作状态。

主权项

1.一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，其特征在于：包括箱体(1)，散热孔(2)，指示灯(3)，放置机构(4)，观察窗(5)，送料机构(6)，万向轮(7)和急停开关(8)，所述送料机构(6)通过螺栓固定在箱体(1)前侧的中间位置；所述万向轮(7)采用四个，通过螺栓固定在箱体(1)的下方四角；所述散热孔(2)采用多个，开设在箱体(1)前侧的下方，位于送料机构(6)的两侧；所述观察窗(5)嵌装在箱体(1)前侧的中间位置，位于送料机构(6)的右侧；所述急停开关(8)嵌装在箱体(1)的前侧，位于观察窗(5)的下方；所述指示灯(3)通过螺纹固定在箱体(1)上方的右侧；所述放置机构(4)通过螺栓固定在箱体(1)右侧的中间位置。