[实用新型]一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉有效

专利信息
申请号: 201920409429.4 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN209854281U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 张新峰 申请(专利权)人: 江苏卓远晶体科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B11/00
代理公司: 11660 北京快易权知识产权代理有限公司 代理人: 汪守勇
地址: 226543 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公布了一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉,包括架体、加热机构、传动机构和坩埚,架体包括炉体、炉管和盖体,盖体包括连接部和固接在连接部下表面的密封部,加热机构包括上加热组件和下加热组件,上加热组件包括第一射频电源、第一匹配器和第一感应线圈,下加热组件包括第二射频电源、第二匹配器和第二感应线圈,传动机构包括螺纹升降盘、旋转升降杆、转筒和电机,本实用新型的有益效果是,结构新颖,功能实用,本装置在使用时,多个坩埚同时进行蓝宝石晶体的生长,大大提高了生产的效率,而且,坩埚在下降的过程中能同步旋转,使生长出来的晶体均匀性较好。
搜索关键词: 坩埚 本实用新型 上加热组件 下加热组件 感应线圈 加热机构 射频电源 匹配器 盖体 架体 蓝宝石长晶炉 蓝宝石晶体 旋转升降杆 部下表面 晶体生长 螺纹升降 同步旋转 生长 均匀性 密封部 固接 炉管 炉体 转筒 电机 生产
【主权项】:
1.一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉,其特征在于:包括架体、加热机构、传动机构和坩埚,所述架体包括炉体、炉管和盖体,所述炉体的下表面对称固接有支撑板,支撑板之间固接有底板,炉体内固接有隔热板,所述隔热板将炉体分隔成上部的高温区和下部的低温区,所述炉管的中部与隔热板固接,炉管的内壁设有螺纹槽,炉管在隔热板上均匀设有若干个,所述盖体包括连接部和固接在连接部下表面的密封部,密封部的尺寸与炉体的顶部开口尺寸一致,连接部的上表面中心还固接有提手;所述加热机构包括上加热组件和下加热组件,所述上加热组件包括第一射频电源、第一匹配器和第一感应线圈,所述下加热组件包括第二射频电源、第二匹配器和第二感应线圈,第一射频电源、第一匹配器、第二射频电源和第二匹配器固接在炉体的左侧板外壁,第一射频电源和第二射频电源通过市电供电,第一感应线圈缠绕在高温区的各炉管外壁,第二感应线圈缠绕在低温区的各炉管外壁,第一射频电源、第一匹配器和第一感应线圈构成串联回路,第二射频电源、第二匹配器和第二感应线圈构成串联回路,所述传动机构包括螺纹升降盘、旋转升降杆、转筒和电机,所述螺纹升降盘啮合在各炉管内,螺纹升降盘的上表面通过支杆固接有螺纹连接套,所述旋转升降杆的顶部固接在螺纹升降盘的下表面中心,旋转升降杆的底部圆周均匀固接有导向块,所述转筒设有空腔,旋转升降杆滑动连接在空腔内,空腔的周向设有与导向块滑动连接的导向槽,转筒的上部通过第一轴承与炉体的底板转动连接,转筒的底部通过第二轴承与底板转动连接,转筒的中部还固接有从动轮,所述电机固接在炉体的底板下表面,电机的输出轴固接有主动轮,主动轮与各皮带轮通过三角带联动,电机通过外部市电供电并设有控制其停启和转速的调速开关;所述坩埚的外壁上部固接有与螺纹连接套相应的螺纹连接盘。/n
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