[实用新型]一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉

说明书

本实用新型公布了一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉，包括架体、加热机构、传动机构和坩埚，架体包括炉体、炉管和盖体，盖体包括连接部和固接在连接部下表面的密封部，加热机构包括上加热组件和下加热组件，上加热组件包括第一射频电源、第一匹配器和第一感应线圈，下加热组件包括第二射频电源、第二匹配器和第二感应线圈，传动机构包括螺纹升降盘、旋转升降杆、转筒和电机，本实用新型的有益效果是，结构新颖，功能实用，本装置在使用时，多个坩埚同时进行蓝宝石晶体的生长，大大提高了生产的效率，而且，坩埚在下降的过程中能同步旋转，使生长出来的晶体均匀性较好。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石生长技术领域，具体涉及一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉。

背景技术

AL₂O₃单晶又称蓝宝石，俗称刚玉，是一种简单配位型氧化物，常因含微量元素钛或铁而呈蓝色，随着科学技术的迅猛发展，蓝宝石晶体已经成为现代工业尤其使微电子及光电子产业极为重要的基础材料，作为最硬的氧化物晶体，蓝宝石由于其光学和物理特性而被运用与各种要求苛刻的领域。

坩埚下降法主要是通过移动坩埚使熔汤内产生温度梯度，进而开始生长晶体。

传统的坩埚下降法所使用的长晶炉每次只能进行一个坩埚内的晶体生长，蓝宝石晶体的生产效率降低，而且，坩埚在下降的过程中一般不旋转，因此生长胡来的晶体均匀性不好。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉，本实用新型是通过以下技术方案来实现的。

一种便于晶体生长的蓝宝石长晶炉，包括架体、加热机构、传动机构和坩埚，所述架体包括炉体、炉管和盖体，所述炉体的下表面对称固接有支撑板，支撑板之间固接有底板，炉体内固接有隔热板，所述隔热板将炉体分隔成上部的高温区和下部的低温区，所述炉管的中部与隔热板固接，炉管的内壁设有螺纹槽，炉管在隔热板上均匀设有若干个，所述盖体包括连接部和固接在连接部下表面的密封部，密封部的尺寸与炉体的顶部开口尺寸一致，连接部的上表面中心还固接有提手；所述加热机构包括上加热组件和下加热组件，所述上加热组件包括第一射频电源、第一匹配器和第一感应线圈，所述下加热组件包括第二射频电源、第二匹配器和第二感应线圈，第一射频电源、第一匹配器、第二射频电源和第二匹配器固接在炉体的左侧板外壁，第一射频电源和第二射频电源通过市电供电，第一感应线圈缠绕在高温区的各炉管外壁，第二感应线圈缠绕在低温区的各炉管外壁，第一射频电源、第一匹配器和第一感应线圈构成串联回路，第二射频电源、第二匹配器和第二感应线圈构成串联回路，所述传动机构包括螺纹升降盘、旋转升降杆、转筒和电机，所述螺纹升降盘啮合在各炉管内，螺纹升降盘的上表面通过支杆固接有螺纹连接套，所述旋转升降杆的顶部固接在螺纹升降盘的下表面中心，旋转升降杆的底部圆周均匀固接有导向块，所述转筒设有空腔，旋转升降杆滑动连接在空腔内，空腔的周向设有与导向块滑动连接的导向槽，转筒的上部通过第一轴承与炉体的底板转动连接，转筒的底部通过第二轴承与底板转动连接，转筒的中部还固接有从动轮，所述电机固接在炉体的底板下表面，电机的输出轴固接有主动轮，主动轮与各皮带轮通过三角带联动，电机通过外部市电供电并设有控制其停启和转速的调速开关；所述坩埚的外壁上部固接有与螺纹连接套相应的螺纹连接盘。

进一步地，所述炉管为钨管。

进一步地，所述炉体的外壁包覆有保温层。

进一步地，所述坩埚的底部设为尖端。

进一步地，所述高温区和低温区的内壁均固接有温度传感器，炉体的右侧板外壁固接有用于显示两个温度传感器温度的LED显示屏。

本实用新型的有益效果是，结构新颖，功能实用，本装置在使用时，多个坩埚同时进行蓝宝石晶体的生长，大大提高了生产的效率，而且，坩埚在下降的过程中能同步旋转，使生长出来的晶体均匀性较好。

附图说明