[实用新型]光伏电池片生产用PECVD石墨舟

摘要

本实用新型涉及石墨技术领域，且公开了光伏电池片生产用PECVD石墨舟，包括卡体，所述卡体的顶部开设有数量为十个的固定槽，所述固定槽的内部固定安装有石墨舟片，所述卡体和石墨舟片正面的顶部和底部均开设有固定孔。该光伏电池片生产用PECVD石墨舟，通过卡体顶部的固定槽，使石墨舟片各舟片之间的距离分布均匀，也使石墨舟片固定的更加稳定，通过固定孔使石墨舟片通过陶瓷棒进行连接，通过分距套使石墨舟片之间的距离更加精准，在硅板放入的时候，经过压板候使弹簧块收缩，放到卡块顶部的卡槽内部将其固定，再通过弹簧块带动保护板压在硅板上，将其双重固定，避免其产生摇晃，达到了镀膜均匀的目的。

主权项

1.光伏电池片生产用PECVD石墨舟，包括卡体(1)，其特征在于：所述卡体(1)的顶部开设有数量为十个的固定槽(2)，所述固定槽(2)的内部固定安装有石墨舟片(3)，所述卡体(1)和石墨舟片(3)正面的顶部和底部均开设有固定孔(4)，所述固定孔(4)的内部固定安装有陶瓷棒(5)，所述陶瓷棒(5)的外表面且位于石墨舟片(3)之间固定安装有分距套(6)，所述陶瓷棒(5)的外表面且位于卡体(1)的正面和背面均固定安装有固定螺母(7)，所述石墨舟片(3)相对的一侧之间均固定安装有卡块(8)，所述卡块(8)的顶部开设有卡槽(9)，所述石墨舟片(3)相对的一侧之间且位于卡块(8)的顶部均固定安装有弹簧块(10)，所述弹簧块(10)相对的一侧均固定安装有保护板(11)，所述保护板(11)的顶部固定安装有压板(12)，所述压板(12)相对的一侧之间且位于卡槽(9)的内部均固定安装有硅板(13)，所述石墨舟片(3)左右两侧的顶部和底部均固定安装有卡板(14)，所述卡板(14)的外表面固定安装有石墨舟块(15)，左侧所述石墨舟块(15)和右侧石墨舟块(15)相对一侧均开设有限定槽(16)，所述卡板(14)固定安装在限定槽(16)的内部，所述卡板(14)和石墨舟块(15)的内部均固定安装有固定杆(17)，所述固定杆(17)的外表面且位于石墨舟块(15)的正面和背面均固定安装有固定套(18)，下侧所述石墨舟块(15)的底部均固定安装有舟脚(19)。/n