[实用新型]光伏电池片生产用PECVD石墨舟有效

专利信息
申请号: 201920409008.1 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN209759581U 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 马建军 申请(专利权)人: 嵊州市西格玛科技有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 51289 成都明涛智创专利代理有限公司 代理人: 王巍敏
地址: 312400 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 石墨舟片 卡体 固定槽 光伏电池片 弹簧块 固定孔 石墨舟 硅板 本实用新型 距离分布 内部固定 石墨技术 双重固定 保护板 槽内部 固定的 陶瓷棒 镀膜 放入 卡块 压板 舟片 摇晃 收缩 生产
【权利要求书】:

1.光伏电池片生产用PECVD石墨舟,包括卡体(1),其特征在于:所述卡体(1)的顶部开设有数量为十个的固定槽(2),所述固定槽(2)的内部固定安装有石墨舟片(3),所述卡体(1)和石墨舟片(3)正面的顶部和底部均开设有固定孔(4),所述固定孔(4)的内部固定安装有陶瓷棒(5),所述陶瓷棒(5)的外表面且位于石墨舟片(3)之间固定安装有分距套(6),所述陶瓷棒(5)的外表面且位于卡体(1)的正面和背面均固定安装有固定螺母(7),所述石墨舟片(3)相对的一侧之间均固定安装有卡块(8),所述卡块(8)的顶部开设有卡槽(9),所述石墨舟片(3)相对的一侧之间且位于卡块(8)的顶部均固定安装有弹簧块(10),所述弹簧块(10)相对的一侧均固定安装有保护板(11),所述保护板(11)的顶部固定安装有压板(12),所述压板(12)相对的一侧之间且位于卡槽(9)的内部均固定安装有硅板(13),所述石墨舟片(3)左右两侧的顶部和底部均固定安装有卡板(14),所述卡板(14)的外表面固定安装有石墨舟块(15),左侧所述石墨舟块(15)和右侧石墨舟块(15)相对一侧均开设有限定槽(16),所述卡板(14)固定安装在限定槽(16)的内部,所述卡板(14)和石墨舟块(15)的内部均固定安装有固定杆(17),所述固定杆(17)的外表面且位于石墨舟块(15)的正面和背面均固定安装有固定套(18),下侧所述石墨舟块(15)的底部均固定安装有舟脚(19)。

2.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:数量为十个的所述固定槽(2)均匀分布在卡体(1)的顶部,所述卡体(1)的形状为U形,所述石墨舟片(3)的大小与固定槽(2)的大小相适配。

3.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述分距套(6)和固定孔(4)的内径均与陶瓷棒(5)的外径相适配,所述分距套(6)和卡块(8)的宽度与石墨舟片(3)之间的距离相等。

4.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述固定螺母(7)的内径与陶瓷棒(5)的外径相适配,且固定螺母(7)活动安装于陶瓷棒(5)的外表面,所述硅板(13)的大小与卡槽(9)的大小相适配。

5.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述石墨舟块(15)的宽度小于卡体(1)的宽度,所述卡体(1)的数量为五个。

6.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述卡板(14)的大小与限定槽(16)的大小相适配,所述固定杆(17)的外径与固定套(18)的内径相适配。

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