[实用新型]光伏电池片生产用PECVD石墨舟有效
申请号: | 201920409008.1 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN209759581U | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 马建军 | 申请(专利权)人: | 嵊州市西格玛科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 51289 成都明涛智创专利代理有限公司 | 代理人: | 王巍敏 |
地址: | 312400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨舟片 卡体 固定槽 光伏电池片 弹簧块 固定孔 石墨舟 硅板 本实用新型 距离分布 内部固定 石墨技术 双重固定 保护板 槽内部 固定的 陶瓷棒 镀膜 放入 卡块 压板 舟片 摇晃 收缩 生产 | ||
1.光伏电池片生产用PECVD石墨舟,包括卡体(1),其特征在于:所述卡体(1)的顶部开设有数量为十个的固定槽(2),所述固定槽(2)的内部固定安装有石墨舟片(3),所述卡体(1)和石墨舟片(3)正面的顶部和底部均开设有固定孔(4),所述固定孔(4)的内部固定安装有陶瓷棒(5),所述陶瓷棒(5)的外表面且位于石墨舟片(3)之间固定安装有分距套(6),所述陶瓷棒(5)的外表面且位于卡体(1)的正面和背面均固定安装有固定螺母(7),所述石墨舟片(3)相对的一侧之间均固定安装有卡块(8),所述卡块(8)的顶部开设有卡槽(9),所述石墨舟片(3)相对的一侧之间且位于卡块(8)的顶部均固定安装有弹簧块(10),所述弹簧块(10)相对的一侧均固定安装有保护板(11),所述保护板(11)的顶部固定安装有压板(12),所述压板(12)相对的一侧之间且位于卡槽(9)的内部均固定安装有硅板(13),所述石墨舟片(3)左右两侧的顶部和底部均固定安装有卡板(14),所述卡板(14)的外表面固定安装有石墨舟块(15),左侧所述石墨舟块(15)和右侧石墨舟块(15)相对一侧均开设有限定槽(16),所述卡板(14)固定安装在限定槽(16)的内部,所述卡板(14)和石墨舟块(15)的内部均固定安装有固定杆(17),所述固定杆(17)的外表面且位于石墨舟块(15)的正面和背面均固定安装有固定套(18),下侧所述石墨舟块(15)的底部均固定安装有舟脚(19)。
2.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:数量为十个的所述固定槽(2)均匀分布在卡体(1)的顶部,所述卡体(1)的形状为U形,所述石墨舟片(3)的大小与固定槽(2)的大小相适配。
3.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述分距套(6)和固定孔(4)的内径均与陶瓷棒(5)的外径相适配,所述分距套(6)和卡块(8)的宽度与石墨舟片(3)之间的距离相等。
4.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述固定螺母(7)的内径与陶瓷棒(5)的外径相适配,且固定螺母(7)活动安装于陶瓷棒(5)的外表面,所述硅板(13)的大小与卡槽(9)的大小相适配。
5.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述石墨舟块(15)的宽度小于卡体(1)的宽度,所述卡体(1)的数量为五个。
6.根据权利要求1所述的光伏电池片生产用PECVD石墨舟,其特征在于:所述卡板(14)的大小与限定槽(16)的大小相适配,所述固定杆(17)的外径与固定套(18)的内径相适配。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的