[实用新型]光伏电池片生产用PECVD石墨舟有效
申请号: | 201920409008.1 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN209759581U | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 马建军 | 申请(专利权)人: | 嵊州市西格玛科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 51289 成都明涛智创专利代理有限公司 | 代理人: | 王巍敏 |
地址: | 312400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨舟片 卡体 固定槽 光伏电池片 弹簧块 固定孔 石墨舟 硅板 本实用新型 距离分布 内部固定 石墨技术 双重固定 保护板 槽内部 固定的 陶瓷棒 镀膜 放入 卡块 压板 舟片 摇晃 收缩 生产 | ||
本实用新型涉及石墨技术领域,且公开了光伏电池片生产用PECVD石墨舟,包括卡体,所述卡体的顶部开设有数量为十个的固定槽,所述固定槽的内部固定安装有石墨舟片,所述卡体和石墨舟片正面的顶部和底部均开设有固定孔。该光伏电池片生产用PECVD石墨舟,通过卡体顶部的固定槽,使石墨舟片各舟片之间的距离分布均匀,也使石墨舟片固定的更加稳定,通过固定孔使石墨舟片通过陶瓷棒进行连接,通过分距套使石墨舟片之间的距离更加精准,在硅板放入的时候,经过压板候使弹簧块收缩,放到卡块顶部的卡槽内部将其固定,再通过弹簧块带动保护板压在硅板上,将其双重固定,避免其产生摇晃,达到了镀膜均匀的目的。
技术领域
本实用新型涉及石墨技术领域,具体为一种光伏电池片生产用PECVD石墨舟。
背景技术
太阳能光伏电池用于把太阳的光能直接转化为电能,目前地面光伏系统大量使用的是以硅为基底的硅太阳能电池,可分为单晶硅、多晶硅和非晶硅太阳能电池,在能量转换效率和使用寿命等综合性能方面,单晶硅和多晶硅电池优于非晶硅电池,多晶硅比单晶硅转换效率低,但价格更便宜。
目前市场上的光伏电池片生产用PECVD石墨舟多种多样,但是普遍上存在镀膜不均匀的缺点,在作业员进行插取硅片的时候,由于固定的精确性不高,在进行镀膜的时候硅片容易产生移动,而导致镀膜不均匀,石墨舟本体之间距离也不够精确,影响了硅片镀膜的生产效率,故而提出一种光伏电池片生产用PECVD石墨舟来解决上述所提出的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种光伏电池片生产用PECVD石墨舟,具备镀膜均匀等优点,解决了普遍上存在镀膜不均匀的缺点,在作业员进行插取硅片的时候,由于固定的精确性不高,在进行镀膜的时候硅片容易产生移动,而导致镀膜不均匀,石墨舟本体之间距离也不够精确,影响了硅片镀膜的生产效率的问题。
(二)技术方案
为实现上述镀膜均匀目的,本实用新型提供如下技术方案:光伏电池片生产用PECVD石墨舟,包括卡体,所述卡体的顶部开设有数量为十个的固定槽,所述固定槽的内部固定安装有石墨舟片,所述卡体和石墨舟片正面的顶部和底部均开设有固定孔,所述固定孔的内部固定安装有陶瓷棒,所述陶瓷棒的外表面且位于石墨舟片之间固定安装有分距套,所述陶瓷棒的外表面且位于卡体的正面和背面均固定安装有固定螺母,所述石墨舟片相对的一侧之间均固定安装有卡块,所述卡块的顶部开设有卡槽,所述石墨舟片相对的一侧之间且位于卡块的顶部均固定安装有弹簧块,所述弹簧块相对的一侧均固定安装有保护板,所述保护板的顶部固定安装有压板,所述压板相对的一侧之间且位于卡槽的内部均固定安装有硅板,所述石墨舟片左右两侧的顶部和底部均固定安装有卡板,所述卡板的外表面固定安装有石墨舟块,左侧所述石墨舟块和右侧石墨舟块相对一侧均开设有限定槽,所述卡板固定安装在限定槽的内部,所述卡板和石墨舟块的内部均固定安装有固定杆,所述固定杆的外表面且位于石墨舟块的正面和背面均固定安装有固定套,下侧所述石墨舟块的底部均固定安装有舟脚。
优选的,数量为十个的所述固定槽均匀分布在卡体的顶部,所述卡体的形状为U形,所述石墨舟片的大小与固定槽的大小相适配。
优选的,所述分距套和固定孔的内径均与陶瓷棒的外径相适配,所述分距套和卡块的宽度与石墨舟片之间的距离相等。
优选的,所述固定螺母的内径与陶瓷棒的外径相适配,且固定螺母活动安装于陶瓷棒的外表面,所述硅板的大小与卡槽的大小相适配。
优选的,所述石墨舟块的宽度小于卡体的宽度,所述卡体的数量为五个。
优选的,所述卡板的大小与限定槽的大小相适配,所述固定杆的外径与固定套的内径相适配。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种光伏电池片生产用PECVD石墨舟,具备以下有益效果:
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的