[实用新型]一种用于单晶硅片生产的烤箱有效
| 申请号： | 201920396610.6 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN210012927U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 方伟建;陆贤辉 | 申请（专利权）人： | 浙江明峰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 324300 浙江省衢*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，涉及单晶硅片生产技术领域。本实用新型包括箱体、托板、鼓风机、集尘箱和储气瓶，箱体一内壁开有第一槽孔，箱体一表面开有一组第二槽孔，第二槽孔与第一槽孔相互连通，箱体内部开有第四槽孔。本实用新型通过气流将单晶硅片生产过程产生的杂质吹送至集尘箱中，带有热量的气流经过过滤网的过滤，会被鼓风机再次输送至第四管体中加热，再次回流到箱体中，从而使得该装置热量流失更少，降低了单晶硅片的生产成本，通过第二槽孔向箱体中上卸料，并在第一槽孔中设有挡板可以随时封闭第二槽孔与箱体内部的连通，从而降低了热量的流失，使得单晶硅片的生产效率得以提高。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅片 第二槽 本实用新型 第一槽 鼓风机 箱体内部 集尘箱 连通 挡板 烤箱 热量流失 生产过程 生产技术 生产效率 储气瓶 过滤网 槽孔 吹送 管体 内壁 托板 卸料 加热 生产成本 过滤 封闭 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体(1)，其特征在于：还包括托板(13)、鼓风机(21)、集尘箱(28)和储气瓶(31)，所述箱体(1)一内壁开有第一槽孔(2)，所述箱体(1)一表面开有一组第二槽孔(3)，所述第二槽孔(3)与第一槽孔(2)相互连通，所述箱体(1)内部开有第四槽孔(5)，所述箱体(1)一内壁开有第五槽孔(6)，所述第四槽孔(5)与第五槽孔(6)相互连通，所述箱体(1)一相对内壁均固定有一组第一固定板(7)；/n所述第一槽孔(2)内壁固定有一组第二固定板(8)，所述第二固定板(8)一表面固定有一组弹簧(10)，两所述弹簧(10)另一端固定有挡板(11)，所述托板(13)一表面开有第七槽孔(14)，所述托板(13)另一表面开有第八槽孔(15)，所述第七槽孔(14)与第八槽孔(15)相互连通，所述托板(13)一相对侧面均固定有挡块(16)，所述托板(13)与第二槽孔(3)内壁滑动配合，所述挡块(16)与第二槽孔(3)内壁间隙配合，所述挡板(11)一表面和托板(13)一表面均开有倒角(17)；/n所述箱体(1)一表面固定连通有料斗(19)，所述料斗(19)另一表面固定连通有第一管体(20)，所述鼓风机(21)进风口一端固定有第二管体(22)，所述第二管体(22)另一端贯穿第一管体(20)一表面且固定有过滤网(23)，所述鼓风机(21)出风口一端固定有第三管体(24)，所述箱体(1)一表面贯穿固定有第四管体(25)，所述第四管体(25)与第四槽孔(5)相互连通，所述第四管体(25)另一端固定有第三固定板(26)，所述第四管体(25)内部设有电热丝(27)，所述第三管体(24)另一端贯穿第四管体(25)周侧面且延伸至第四管体(25)内部。/n
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