[实用新型]一种单晶硅炉退火装置有效
| 申请号： | 201920434006.8 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN210030958U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 郑芹峰;方伟建 | 申请（专利权）人： | 浙江明峰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 324300 浙江省衢*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于退火装置领域，尤其是一种单晶硅炉退火装置，针对现有的退火装置加热不均匀，退火效率低的问题，现提出如下方案，其包括退火炉主体，所述退火炉主体内壁固定安装有安装板，所述退火炉主体上端固定安装有电机，所述电机输出轴连接有连接轴，所述连接轴下端依次穿过退火炉主体以及安装板，且连接轴底端固定安装有支撑板，所述安装板下端安装有两个加热器，且两个所述加热器对称设置于连接轴两侧，所述退火炉主体内部设置有通风管道，所述通风管道上端口与支撑板底部相连接，所述退火炉主体两端对称开设有两个进风口。本实用新型加热均匀，退火效率高，速率快，且操作简单方便，实用性高。 | ||
| 搜索关键词： | 退火炉 连接轴 退火装置 安装板 加热器 本实用新型 退火效率 支撑板 下端 通风管 电机输出轴连接 单晶硅炉 对称开设 对称设置 加热均匀 上端固定 通风管道 主体两端 主体内壁 主体内部 不均匀 进风口 底端 加热 电机 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅炉退火装置，包括退火炉主体(3)，其特征在于，所述退火炉主体(3)内壁固定安装有安装板(4)，所述退火炉主体(3)上端固定安装有电机(2)，所述电机(2)输出轴连接有连接轴(1)，所述连接轴(1)下端依次穿过退火炉主体(3)以及安装板(4)，且连接轴(1)底端固定安装有支撑板(8)，所述安装板(4)下端安装有两个加热器(5)，且两个所述加热器(5)对称设置于连接轴(1)两侧，所述退火炉主体(3)内部设置有通风管道(9)，所述通风管道(9)上端口与支撑板(8)底部相连接，所述退火炉主体(3)两端对称开设有两个进风口(10)，且两个所述进风口(10)处均通过安装架(13)固定安装有鼓风机(12)，所述通风管道(9)内壁固定安装有导风板(14)，两个所述进风口(10)均与通风管道(9)相连通，所述退火炉主体(3)下端对称固定有多个支撑腿(15)，所述退火炉主体(3)一端开设有放料口(6)，且放料口(6)处铰接有门板(7)，所述退火炉主体(3)上安装有充电插头，且充电插头与电机(2)、鼓风机(12)以及加热器(5)电性连接。/n
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