[实用新型]一种固晶结合力测试装置有效

专利信息
申请号: 201920348370.2 申请日: 2019-03-19
公开(公告)号: CN209858404U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 黄昌民 申请(专利权)人: 无锡昌德微电子股份有限公司
主分类号: G01N19/04 分类号: G01N19/04;H01L21/66
代理公司: 11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 代理人: 程爽
地址: 214000 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种固晶结合力测试装置,包括支座、测力计、滑轨以及手杆,所述支座上表面安装所述测力计与所述滑轨,所述测力计与所述滑轨位于同一中心线且所述测力计上的推杆对准所述滑轨,所述手杆安装在所述支座的侧表面且与所述滑轨位于同一侧。本实用新型结构设计简单,结构合理,将现有测量手段中分散的测量部件组合起来,一方面降低了操作的难度,另一方面,测力计位置固定,可以保证推力水平,降低了测量数据的偏差。
搜索关键词: 测力计 滑轨 本实用新型 手杆 推杆 同一中心线 测量部件 测量数据 测试装置 推力水平 侧表面 结合力 上表面 固晶 对准 测量 保证
【主权项】:
1.一种固晶结合力测试装置,其特征在于,包括支座(1)、测力计(2)、滑轨(3)以及手杆(4),所述支座(1)上表面安装所述测力计(2)与所述滑轨(3),所述测力计(2)与所述滑轨(3)位于同一中心线上,所述滑轨(3)上设置有滑块(5),所述测力计(2)上的推杆(10)对准所述滑块(5),所述手杆(4)安装在所述支座(1)的侧表面且与所述滑轨(3)位于同一侧。/n
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