[实用新型]一种固晶结合力测试装置有效
| 申请号： | 201920348370.2 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN209858404U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 黄昌民 | 申请（专利权）人： | 无锡昌德微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04;H01L21/66 |
| 代理公司： | 11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程爽 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测力计 滑轨 本实用新型 手杆 推杆 同一中心线 测量部件 测量数据 测试装置 推力水平 侧表面 结合力 上表面 固晶 对准 测量 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种固晶结合力测试装置，其特征在于，包括支座(1)、测力计(2)、滑轨(3)以及手杆(4)，所述支座(1)上表面安装所述测力计(2)与所述滑轨(3)，所述测力计(2)与所述滑轨(3)位于同一中心线上，所述滑轨(3)上设置有滑块(5)，所述测力计(2)上的推杆(10)对准所述滑块(5)，所述手杆(4)安装在所述支座(1)的侧表面且与所述滑轨(3)位于同一侧。
2.如权利要求1所述的固晶结合力测试装置，其特征在于，所述滑块(5)上部设置有卡槽(6)，以便于安装框架。
3.如权利要求1所述的固晶结合力测试装置，其特征在于，所述滑块(5)下部设有条形齿(7)，所述手杆(4)连接轴(8)，所述轴(8)上安装有齿轮(9)，所述齿轮(9)与所述条形齿(7)啮合。
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