[实用新型]一种固晶结合力测试装置

说明书

本实用新型提供一种固晶结合力测试装置，包括支座、测力计、滑轨以及手杆，所述支座上表面安装所述测力计与所述滑轨，所述测力计与所述滑轨位于同一中心线且所述测力计上的推杆对准所述滑轨，所述手杆安装在所述支座的侧表面且与所述滑轨位于同一侧。本实用新型结构设计简单，结构合理，将现有测量手段中分散的测量部件组合起来，一方面降低了操作的难度，另一方面，测力计位置固定，可以保证推力水平，降低了测量数据的偏差。

技术领域

本实用新型涉及检验测试领域，具体涉及一种固晶结合力测试装置。

背景技术

在半导体封装过程中，装片工序需要重点监控的一个指标就是晶圆与框架的结合力，现在的检测的方法是：用手按住框架，将推力计上的推杆对准晶圆用力向前推动，观察晶圆掉落时推力计上的数值，根据数值判断装片工序的工艺质量。这种方法的问题在于：(1)操作人员难以保证推力水平，导致数据偏差较大；(2)一般测试时推力都在5ON左右，在测试时框架很难固定，也会导致数据上的偏差。

实用新型内容

本实用新型提供一种固晶结合力测试装置，以解决现有技术存在人工手动检测存在较大偏差的问题。

本实用新型提供一种固晶结合力测试装置，包括支座、测力计、滑轨以及手杆，所述支座上表面安装所述测力计与所述滑轨，所述测力计与所述滑轨位于同一中心线上，所述滑轨上设置有滑块，所述测力计上的推杆对准所述滑块，所述手杆安装在所述支座的侧表面且与所述滑轨位于同一侧。

优选的，所述滑块上部设置有卡槽，以便于安装框架。

优选的，所述滑块下部设有条形齿，所述手杆连接轴，所述轴上安装有齿轮，所诉齿轮与所述条形齿啮合。

本实用新型的有益效果为：本实用新型结构设计简单，结构合理，将现有测量手段中分散的测量部件组合起来，一方面降低了操作的难度，另一方面，测力计位置固定，可以保证推力水平，降低了测量数据的偏差。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的固晶结合力测试装置的俯视图。

图2是根据本实用新型实施例的固晶结合力测试装置的正视图。

图3是根据本实用新型实施例的推杆与滑块的连接示意图。

其中，1-支座，2-测力计，3-滑轨，4-手杆，5-滑块，6-卡槽，7-条形齿，8- 轴，9-齿轮，10-推杆。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合具体实施例，对本实用新型作进一步地详细说明。

根据图1～图2，本实用新型提供一种固晶结合力测试装置，包括支座1、测力计2、滑轨3以及手杆4，所述支座1上表面安装所述测力计2与所述滑轨3，所述测力计2与所述滑轨3位于同一中心线上，所述滑轨3上设置有滑块5，所述测力计2上的推杆10对准所述滑块5，所述手杆4安装在所述支座1的侧表面且与所述滑轨3位于同一侧。

进一步设置，所述滑块5上部设置有卡槽。

如此设置，以便于安装框架。

进一步设置，所述滑块5下部设有条形齿7，所述手杆4连接轴8，所述轴 8上安装有齿轮9，所述齿轮9与所述条形齿7啮合。

如此设置，拉动手杆时，滑块便可以带动框架在滑轨移动带动框架挤压推杆，以此测力，同时可以保证推力水平，降低测量数据偏差。

综上所述，本实用新型结构设计简单，结构合理，将现有测量手段中分散的测量部件组合起来，一方面降低了操作的难度，另一方面，测力计位置固定，可以保证推力水平，降低了测量数据的偏差。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围。