[实用新型]一种磁芯电极镀膜装置及流水线有效
| 申请号： | 201920279823.0 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN209854240U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡畅;黄裕坤;崔骏 | 申请（专利权）人： | 中山国磁真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶新平 |
| 地址： | 528400 广东省中山市三角镇金三大道东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型一种磁芯电极镀膜装置，包括立式基片架、侧式阴极溅射装置。立式基片架包括框架，设置在框架上侧的磁铁，设置在框架下侧的导轨，从上到下设置在框架前侧两边的多对定位柱，设置在每对定位柱上的磁芯治具，设置在框架前侧四角的螺钉孔，设置在框架前侧两边的压条，压条通过两端螺丝将多个磁芯治具固定在框架前侧，侧式阴极溅射装置设于镀膜室的一侧。磁芯治具包括掩膜板、多个磁芯、多个弹片、磁芯架，掩膜板上设有多个与磁芯顶部结构匹配的日字型通孔，磁芯架上设有多个容纳磁芯和弹片装入的凹孔，掩膜板用螺丝固定在磁芯架上。本方案采用立式结构，可流水线式连续生产，从而大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁芯 磁芯架 掩膜板 治具 阴极溅射装置 压条 定位柱 基片架 侧式 弹片 两边 本实用新型 磁芯电极 从上到下 顶部结构 镀膜装置 立式结构 两端螺丝 流水线式 螺丝固定 生产效率 镀膜室 螺钉孔 日字型 磁铁 凹孔 导轨 通孔 匹配 装入 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：包括立式基片架、侧式阴极溅射装置；所述立式基片架包括框架，设置在所述框架上侧的磁铁，设置在所述框架下侧的导轨，从上到下设置在所述框架前侧两边的多对定位柱，设置在每对定位柱上的磁芯治具，设置在所述框架前侧四角的螺钉孔，设置在所述框架前侧两边的压条，所述压条通过两端螺丝将多个所述磁芯治具固定在所述框架前侧，所述侧式阴极溅射装置设于镀膜室的一侧。/n
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