[发明专利]一种阴极体组件、磁控溅射阴极及磁控溅射装置在审
| 申请号： | 201810759479.5 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110714186A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 梅艳慧 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11274 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种阴极体组件、磁控溅射阴极及磁控溅射装置，涉及磁控溅射领域，可提高靶材表面的水平磁场强度。该阴极体组件包括：阴极板，还包括：设置在阴极板一侧板面上的磁路组件，磁路组件包括：中间磁体组件和环绕中间磁体组件的外圈磁体组件；其中，中间磁体组件和外圈磁体组件背离阴极板一侧的磁极极性相反；中间磁体组件包括至少1组中间磁体组；外圈磁体组件包含至少1组外圈磁体组；且中间磁体组的组数与外圈磁体组的组数之和大于2。用于阴极体组件及包括该阴极体组件的磁控溅射阴极、磁控溅射装置的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 外圈磁体 磁体组件 阴极体 阴极板 磁控溅射阴极 磁控溅射装置 磁路组件 磁体组 组数 靶材表面 磁极极性 磁控溅射 水平磁场 组件包括 制备 环绕 背离 申请 | ||
【主权项】：
1.一种阴极体组件，包括：阴极板，其特征在于，所述阴极体组件还包括：/n设置在所述阴极板一侧板面上的磁路组件，所述磁路组件包括：中间磁体组件和环绕所述中间磁体组件的外圈磁体组件；/n其中，所述中间磁体组件和所述外圈磁体组件背离所述阴极板一侧的磁极极性相反；/n所述中间磁体组件包括至少1组中间磁体组；/n所述外圈磁体组件包括至少1组外圈磁体组；/n且所述中间磁体组的组数与所述外圈磁体组的组数之和大于2。/n
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