[实用新型]一种小体积压电传感器有效
| 申请号： | 201920275166.2 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209706830U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 陈显锋 | 申请（专利权）人： | 佛山市卓膜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/113 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡枫<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种小体积压电传感器，包括底座、设置在底座上的第一胶粘层、设置在第一胶粘层上的压电薄膜层、设置在压电薄膜层上的第二胶粘层、设置在第二胶粘层上的质量块、以及设置在压电薄膜层上的第一焊盘和第二焊盘，所述压电薄膜层包括支撑体，依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极，所述压电薄膜的厚度为0.1‑10μm，所述第一焊盘与第一电极导电连接，所述第二焊盘与第二电极导电连接，所述第一焊盘和第二焊盘位于质量块的同一侧。本实用新型的压电传感器结构简单、体积小、重量轻、且适用于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 焊盘 压电薄膜层 胶粘层 本实用新型 压电传感器 导电连接 第二电极 第一电极 压电薄膜 支撑体 质量块 底座 依次设置 批量化 体积小 重量轻 生产 | ||
【主权项】：
1.一种小体积压电传感器，其特征在于，包括底座、设置在底座上的第一胶粘层、设置在第一胶粘层上的压电薄膜层、设置在压电薄膜层上的第二胶粘层、设置在第二胶粘层上的质量块、以及设置在压电薄膜层上的第一焊盘和第二焊盘，所述压电薄膜层包括支撑体，依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极，所述压电薄膜的厚度为0.1-10μm，所述第一焊盘与第一电极导电连接，所述第二焊盘与第二电极导电连接，所述第一焊盘和第二焊盘位于质量块的同一侧。/n
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