[实用新型]一种压电薄膜麦克风结构有效

专利信息
申请号: 201821645804.7 申请日: 2018-10-11
公开(公告)号: CN208987176U 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 罗超;何维嵩 申请(专利权)人: 东莞希越电子有限公司
主分类号: H04R17/02 分类号: H04R17/02
代理公司: 东莞市创益专利事务所 44249 代理人: 许彬
地址: 523000 广东省东莞市万江街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种压电薄膜麦克风结构,其具有硅晶圆衬底,该硅晶圆衬底设有贯通的空腔,在空腔的一端头上覆盖第一压电薄膜,该第一压电薄膜构成振动板;以及在第一压电薄膜的上表面附设感知压电信号的压电叠层,所述压电叠层至少具有一层第二压电薄膜及设在第二压电薄膜上下表面的电极层。本实用新型将第一压电薄膜及感知压电信号的压电叠层依次生长于硅晶圆衬底上,并将最底层的第一压电薄膜仅作为振动板,振动板之上的感知压电信号的压电叠层用于感受声压时输出电信号。由于第一压电薄膜为绝缘材料,压电叠层感受到声压并输出电信号时不受到第一压电薄膜的干扰,从而可以提高麦克风器件的信噪比,结构简单,制作成本低。
搜索关键词: 压电薄膜 压电叠层 压电信号 硅晶圆 振动板 衬底 感知 本实用新型 麦克风结构 空腔 声压 绝缘材料 上下表面 麦克风 输出 电极层 上表面 信噪比 最底层 附设 贯通 生长 覆盖 制作
【主权项】:
1.一种压电薄膜麦克风结构,其特征在于:具有硅晶圆衬底(1),该硅晶圆衬底(1)设有贯通的空腔(11),在空腔(11)的一端头上覆盖第一压电薄膜(2),该第一压电薄膜(2)构成振动板;以及在第一压电薄膜(2)的上表面附设感知压电信号的压电叠层(3),所述压电叠层(3)至少具有一层第二压电薄膜(31)及设在第二压电薄膜(31)上下表面的电极层(32)。
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  • 项吉;高原;崔宏图 - 北京小米移动软件有限公司
  • 2016-09-28 - 2016-12-14 - H04R17/02
  • 本公开提供一种终端设备,该终端设备包括:终端设备主体、压电受话器、传导模组、壳体及玻璃面板。其中,终端设备主体包括驱动电路,驱动电路与压电受话器电连接;传导模组与压电受话器贴合在一起;壳体包括中框,传导模组一端与中框连接并构成悬臂梁结构;玻璃面板在靠近中框的位置与壳体贴合在一起。因为声音是通过压电受话器、传导模组、中框传导至终端设备正面的玻璃面板上释放出来,不需要在终端设备上设置听筒,不会因为避开听筒的位置而减少了显示屏的大小,使得终端设备显示区域增大。
  • 一种防水压电陶瓷扬声器-201521107702.6
  • 罗元岳 - 深圳市元菱科技股份有限公司
  • 2015-12-26 - 2016-06-01 - H04R17/02
  • 本实用新型公开了一种防水压电陶瓷扬声器,包括底盖和与底盖配合安装的顶盖,所述底盖与顶盖之间设置有振动组件,所述振动组件包括振动膜片、金属薄膜、透音空腔和压电陶瓷片,所述压电陶瓷片通过一控制电路板控制,所述振动膜片、金属薄膜、压电陶瓷片与控制电路板依次安装于底盖与顶盖之间设置的两个支架内,所述顶盖的上端面正对压电陶瓷片设置有一个以上的出音孔,所述透音空腔设置于底盖上,位于顶盖上端的每个出音孔外侧均设置有一圈集水槽,所述集水槽内均设置有吸水海绵,所述出音孔中间设置一丝网。本实用新型在使用时,对其出音孔进行防水处理,保证一定量的吸水性,有效保护整个扬声器,增加使用寿命。
  • 一种压电受话器和移动终端-201520978046.0
  • 王海荣;单连文;祖峰磊;杨鑫峰;平慷 - 歌尔声学股份有限公司
  • 2015-11-30 - 2016-05-04 - H04R17/02
  • 本实用新型公开了一种压电受话器和移动终端。所述压电受话器,包括压电片(2),设置在所述压电片(2)下表面的支架(1),以及垫块(4),所述垫块(4)设于所述支架(1)一端的下表面,所述支架(1)远离所述垫块(4)的一端悬空;所述垫块(4)用于连接移动终端。本实用新型的压电受话器结构简单,节省空间,且其通过垫块衔接压电受话器和移动终端的方式,不但能够使得装配更加稳固,从而有效地将压电受话器的振动传递给移动终端,增强低频效果和响度;而且还能够为压电受话器的压电片提供足够的下振空间,加强压电受话器产生的振动能量。
  • 压电受话器-201520805551.5
  • 单连文;王海荣;刘岩涛 - 歌尔声学股份有限公司
  • 2015-10-15 - 2016-01-20 - H04R17/02
  • 本实用新型涉及电声转换技术领域,更具体地,本实用新型涉及一种压电受话器。该压电受话器包括:压电片;配重块;以及支架板,所述支架板的一端为连接端,另一端为自由端,所述自由端设有凸出于所述支架板的补强部,所述配重块设于所述自由端,与所述压电片之间存在间隔;所述补强部设于所述压电片和所述配重块之间的间隔处。通过在压电片和配重块之间的间隙设置补强部,可以调节压电受话器声压级的中、高频峰谷,把声压级的峰谷移至不重要的频段,提高共振与反共振的频率,平滑频率响应曲线。
  • 压电受话器-201520805621.7
  • 单连文;王海荣;刘岩涛 - 歌尔声学股份有限公司
  • 2015-10-15 - 2016-01-20 - H04R17/02
  • 本实用新型涉及电声转换技术领域,更具体地,本实用新型涉及一种压电受话器。该压电受话器包括:垫片;压电片,所述压电片的一端设于所述垫片上,所述压电片的另一端为自由端;配重块,所述配重块设于所述自由端;以及保护装置,所述保护装置正对所述自由端设置,并且所述保护装置的上方与所述自由端之间存在间距,在所述压电片的振动方向上形成保护空间。本实用新型的压电受话器结构简单,安装方便,可以有效防止因振幅过大导致压电片的损坏以及与其他部件发生碰撞引起压电片的失效,延长使用寿命。本实用新型的压电受话器适用于多种移动终端。
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