[实用新型]一种小体积压电传感器有效
| 申请号： | 201920275166.2 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209706830U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 陈显锋 | 申请（专利权）人： | 佛山市卓膜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/113 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡枫<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 焊盘 压电薄膜层 胶粘层 本实用新型 压电传感器 导电连接 第二电极 第一电极 压电薄膜 支撑体 质量块 底座 依次设置 批量化 体积小 重量轻 生产 | ||
1.一种小体积压电传感器，其特征在于，包括底座、设置在底座上的第一胶粘层、设置在第一胶粘层上的压电薄膜层、设置在压电薄膜层上的第二胶粘层、设置在第二胶粘层上的质量块、以及设置在压电薄膜层上的第一焊盘和第二焊盘，所述压电薄膜层包括支撑体，依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极，所述压电薄膜的厚度为0.1-10μm，所述第一焊盘与第一电极导电连接，所述第二焊盘与第二电极导电连接，所述第一焊盘和第二焊盘位于质量块的同一侧。
2.如权利要求1所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述第一焊盘和第二焊盘由Au、Ti、Pt、Ir、Ni、La、Ru、Sr、Ag、Cr、Al、Cu中的一种制成。
3.如权利要求2所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述第二焊盘通过导电线与第二电极形成导电连接。
4.如权利要求1所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述支撑体由不产生电荷的硬质材料制成，或者由产生电荷数量小于压电薄膜产生电荷数量的硬质材料制成，所述支撑体的厚度为0.05-2mm。
5.如权利要求1所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述压电薄膜为PZT薄膜、BaTiO薄膜、BiFeO3薄膜、BaSrO3薄膜、LiNbO3薄膜、KNbO3薄膜或LiTaO3薄膜。
6.如权利要求1所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极由Au、Ti、Pt、Ir、Ni、La、Ru、Sr、Ag、Cr、Al、Cu中的一种制成。
7.如权利要求1所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述质量块由铜、钨或钨铜制成。
8.如权利要求1所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述第一胶粘层和第二胶粘层由硅橡胶、环氧树脂胶、丙烯酸酯胶和聚氨酯胶中的一种制成。
9.如权利要求1所述的小体积压电传感器，其特征在于，所述底座由不锈钢、Ti、Al和Cu中的一种制成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市卓膜科技有限公司，未经佛山市卓膜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920275166.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型薄膜式传感器
- 下一篇：一种可调式的光电传感器
