[实用新型]一种推送机构及化学气相沉积机台

摘要

本实用新型涉及一种推送机构和化学气相沉积机台，所述推送机构推动加热体运动，该加热体具有初始位置和目标位置，该推送机构包括：磁场发生器，用以产生磁场；驱动装置，与加热体连接，用以驱动加热体运动；导体，用以与加热体同步运动；以及，处理装置，与导体连接并形成回路；其中，导体被配置为，加热体从初始位置运动至目标位置的过程中，切割磁场的磁感线产生感应电流；处理装置被配置为，用以接收感应电流，并根据感应电流得到加热体的运动距离，根据加热体的运动距离确定加热体当前的位置。所述化学气相沉积机台包括所述推送机构。本实用新型的优点在于，导体与加热体同步运动，并切割磁感线产生感应电流，而精确地得到加热体的当前位置。

主权项

1.一种推送机构，用于化学气相沉积机台，所述化学气相沉积机台包括一用以承载衬底的加热体，所述推送机构用以推动所述加热体运动，所述加热体具有初始位置和目标位置，其特征在于，包括：/n磁场发生器，用以产生磁场；/n驱动装置，与所述加热体连接，用以驱动所述加热体运动；/n导体，用以与所述加热体同步运动；以及，/n处理装置，与所述导体连接并形成回路；/n其中，所述导体被配置为，所述加热体从所述初始位置运动至所述目标位置的过程中，用以切割所述磁场的磁感线而产生感应电流；/n所述处理装置被配置为，用以接收所述感应电流，并根据所述感应电流得到所述加热体的运动距离，以根据所述加热体的运动距离确定所述加热体当前的位置。/n