[实用新型]一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板有效
| 申请号： | 201920117109.1 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209778985U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王英剑;杨志民 | 申请（专利权）人： | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;C23C14/24;G02B1/10 |
| 代理公司： | 11548 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体和螺纹孔，所述盖板主体的中部开设有四个等距离的阶梯孔，且盖板主体的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔，所述螺纹孔共设置有五个，且五个螺纹孔开设在盖板主体上，所述盖板主体的厚度为0.5mm，所述盖板主体的形状为圆盘形，且盖板主体的两侧均设置有定位平切面，且盖板主体为不锈钢制成，所述盖板主体的上表面一侧设置有防呆凹槽，且盖板主体的上表面另一侧设置有防呆凸起使用五个螺丝插入螺纹孔的内部将十个滤光片压紧，进而使得滤光片被定位起来，定位方便快速，大大节约了装片时间，提高工作效率，0.5mm厚度的不锈钢盖板，实际镀膜过程中造成的遮挡影响较小。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板主体 螺纹孔 上表面 阶梯孔 滤光片 防呆 本实用新型 不锈钢盖板 窄带滤光片 镀膜过程 工作效率 夹具盖板 溅射镀膜 螺丝插入 平切面 圆盘形 不锈钢 凸起 压紧 遮挡 装片 节约 | ||
【主权项】：
1.一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体（1）和螺纹孔（3），所述盖板主体（1）的中部开设有四个等距离的阶梯孔（2），且盖板主体（1）的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔（2），其特征在于：所述螺纹孔（3）共设置有五个，且五个螺纹孔（3）开设在盖板主体（1）上。/n
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