[实用新型]一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板有效
| 申请号： | 201920117109.1 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209778985U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王英剑;杨志民 | 申请（专利权）人： | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;C23C14/24;G02B1/10 |
| 代理公司： | 11548 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 盖板主体 螺纹孔 上表面 阶梯孔 滤光片 防呆 本实用新型 不锈钢盖板 窄带滤光片 镀膜过程 工作效率 夹具盖板 溅射镀膜 螺丝插入 平切面 圆盘形 不锈钢 凸起 压紧 遮挡 装片 节约 | ||
【权利要求书】：
1.一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体（1）和螺纹孔（3），所述盖板主体（1）的中部开设有四个等距离的阶梯孔（2），且盖板主体（1）的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔（2），其特征在于：所述螺纹孔（3）共设置有五个，且五个螺纹孔（3）开设在盖板主体（1）上。
2.根据权利要求1所述的一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，其特征在于，所述盖板主体（1）的厚度为0.5mm。
3.根据权利要求1所述的一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，其特征在于，所述盖板主体（1）的形状为圆盘形，且盖板主体（1）的两侧均设置有定位平切面（11），且盖板主体（1）为不锈钢制成。
4.根据权利要求1所述的一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，其特征在于，所述盖板主体（1）的上表面一侧设置有防呆凹槽（4），且盖板主体（1）的上表面另一侧设置有防呆凸起（5）。
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