[实用新型]一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板

说明书

本实用新型公开了一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体和螺纹孔，所述盖板主体的中部开设有四个等距离的阶梯孔，且盖板主体的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔，所述螺纹孔共设置有五个，且五个螺纹孔开设在盖板主体上，所述盖板主体的厚度为0.5mm，所述盖板主体的形状为圆盘形，且盖板主体的两侧均设置有定位平切面，且盖板主体为不锈钢制成，所述盖板主体的上表面一侧设置有防呆凹槽，且盖板主体的上表面另一侧设置有防呆凸起使用五个螺丝插入螺纹孔的内部将十个滤光片压紧，进而使得滤光片被定位起来，定位方便快速，大大节约了装片时间，提高工作效率，0.5mm厚度的不锈钢盖板，实际镀膜过程中造成的遮挡影响较小。

技术领域

本实用新型涉及镜片镀膜夹具技术领域，具体为一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板。

背景技术

镀膜机目前蒸镀模式是从基片上方向下进行溅射镀膜，蒸发源（蒸镀靶材）离镀膜基片空间距离较近10mm以内，镀膜夹具通常用固定螺丝将镀膜基片固定在夹具上，一个镀膜夹具需要23个螺丝，整炉放置基片固定的时间需要1.5小时以上。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，旨在改善基片定位时间长，效率低的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体和螺纹孔，所述盖板主体的中部开设有四个等距离的阶梯孔，且盖板主体的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔，所述螺纹孔共设置有五个，且五个螺纹孔开设在盖板主体上。

进一步的，所述盖板主体的厚度为0.5mm。

进一步的，所述盖板主体的形状为圆盘形，且盖板主体的两侧均设置有定位平切面，且盖板主体为不锈钢制成。

进一步的，所述盖板主体的上表面一侧设置有防呆凹槽，且盖板主体的上表面另一侧设置有防呆凸起。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型使用五个螺丝插入螺纹孔的内部将十个滤光片压紧，进而使得滤光片被定位起来，定位方便快速，大大节约了装片时间，提高工作效率，0.5mm厚度的不锈钢盖板，实际镀膜过程中造成的遮挡影响较小。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型阶梯孔的结构示意图；

图3是图2的A区放大图；

图4是本实用新型阶梯孔与螺纹孔的分布示意图。

图中：1、盖板主体；11、定位平切面；2、阶梯孔；201、第一阶梯孔；202、第二阶梯孔；203、第三阶梯孔；204、第四阶梯孔；205、第五阶梯孔；206、第六阶梯孔；207、第七阶梯孔；208、第八阶梯孔；209、第九阶梯孔；210、第十阶梯孔；3、螺纹孔；31、第一螺纹孔；32、第二螺纹孔；33、第三螺纹孔；34、第四螺纹孔；35、第五螺纹孔；4、防呆凹槽；5、防呆凸起。

具体实施方式