[实用新型]一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块有效
| 申请号： | 201920115109.8 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN209545541U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 赵坤丽;赵俊武 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块，谐振器包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底，其中底电极与衬底之间设有空气腔，空气腔中设有至少1个分布反射器；分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成，分布反射器的顶部与底电极连接，分布反射器的底部与衬底连接。本实用新型通过在空气隙型或背腔型FBAR的空气腔或背腔区域增加分布反射器将热量通过热传导的方式释放到衬底中，从而达到快速散热的目的，而且分布反射器具有很好的声反射特性，可以通过改变分布反射器的大小能够降低分布反射器对谐振器性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 反射器 衬底 底电极 空气腔 谐振器 滤波器 射频通讯模块 本实用新型 功率改善 背腔 导热 谐振器性能 从上到下 交替叠加 快速散热 区域增加 依次连接 阻抗材料 顶电极 空气隙 热传导 声反射 压电层 释放 | ||
【主权项】：
1.一种功率改善的谐振器，包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底，其中底电极与衬底之间设有空气腔，其特征在于：所述的空气腔中设有至少1个分布反射器；分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成，分布反射器的顶部与底电极连接，分布反射器的底部与衬底连接。
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