[实用新型]一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块

说明书

本实用新型提供一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块，谐振器包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底，其中底电极与衬底之间设有空气腔，空气腔中设有至少1个分布反射器；分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成，分布反射器的顶部与底电极连接，分布反射器的底部与衬底连接。本实用新型通过在空气隙型或背腔型FBAR的空气腔或背腔区域增加分布反射器将热量通过热传导的方式释放到衬底中，从而达到快速散热的目的，而且分布反射器具有很好的声反射特性，可以通过改变分布反射器的大小能够降低分布反射器对谐振器性能的影响。

技术领域

本实用新型属于谐振器结构领域，具体涉及一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块。

背景技术

FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)由于其体积小、半导体工艺兼容性、高Q值等优点，由FBAR构成的体声波滤波器被广泛应用于移动通信领域中。随着移动通信的发展，通信的频率越来越高，为了克服远距离信号传输的衰减，需要提高发射信号的功率，需要能够承受更高功率的器件完成信号的远距离传输。

由于空气隙型FBAR构成的滤波器在工作时会产生大量的热，过热会导致器件失效，而空气隙型FBAR构成的滤波器散热性能比较差，大量的热量需要通过辐射的方式释放，热量释放的效率很低。一旦器件长时间在高功率条件下工作，就有可能导致器件由于过热而烧毁。因此，需要寻找一种能够高效散热的方法来解决空气隙型FBAR的散热问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块，能够提高器件性能，同时提高散热效率。

本实用新型为解决上述技术问题所采取的技术方案为：一种功率改善的谐振器，包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底，其中底电极与衬底之间设有空气腔，其特征在于：所述的空气腔中设有至少1个分布反射器；分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成，分布反射器的顶部与底电极连接，分布反射器的底部与衬底连接。

按上述设备，所述的分布反射器为2个以上，设置在有源区和/或无源区。

按上述设备，其中至少1个分布反射器的部分位于有源区，另一部分位于无源区。

按上述设备，所述的分布反射器设置在有源区，且分布反射器的宽度小于或等于有源区的横截面宽度。

按上述设备，所述的高低声阻抗材料中至少有一种是非导电材料。

一种功率改善的谐振器，包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底，其中衬底中设有与底电极相通的背腔，其特征在于：所述的背腔中设有至少1个分布反射器；分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成，分布反射器的顶部与底电极连接，分布反射器的底部设有导热材料制成的支撑件。

一种功率改善的谐振器，包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底，其中衬底中设有与底电极隔离的背腔，其特征在于：所述的背腔中设有至少1个分布反射器；分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成，分布反射器的顶部与底电极连接，分布反射器的底部设有导热材料制成的支撑件。

按上述设备，所述的底电极与背腔之间的衬底厚度为100-300μm。

一种滤波器，其特征在于：它包括所述的谐振器。

按上述滤波器，本滤波器为梯型或网格型。

一种射频通讯模块，包括所述的滤波器。